في قاعة التصنيع، كما تعلم، فإن أي اختلاف بدرجة 0.5 درجة مئوية في درجة حرارة الخبز يمكن أن يؤدي إلى تغييرات في الأبعاد الحرجة للرقائق بمقدار نانومترات، وهو ما يؤدي إلى تحويل كميات كبيرة من الرقائق إلى نفايات. ما نحتاجه هو نظام تسخين موثوق به، دورة بعد دورة، حتى في ظل تأثير تيارات الهواء في غرف النظافة العالية، وشكل الرقائق، وجداول العمليات المختلفة.
ما الذي يهم فعلاً؟ لقد صممنا النظام باستخدام مصادر ضوء تحت الأحمر، بحيث يتم التسخين بسرعة وبدون استخدام أي اتصال مباشر. يظل التوزيع الحراري على سطح الرقاقة ثابتًا ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، ويمكن الحفاظ على درجة الحرارة المطلوبة بدقة. يتناسب هذا النظام مع معايير غرف النظافة من الدرجة 1 إلى 100، كما أن منطقة التسخين تحافظ على تجنب تكون الجسيمات. يتم التحكم في درجة الحرارة بدقة، مما يضمن استقرار أبعاد الرقائق وتقليل العيوب.
لماذا يكون هذا مهمًا في عملية الطباعة بالليثوغرافيا؟ في خطوط الطباعة بالليثوغرافيا، يساعد الضوء تحت الأحمر في تسريع عملية التسخين وتقليل القصور الحراري. وهذا يقلل من وقت التحويل بين العمليات المختلفة، ويساعد في الحفاظ على معدلات الإنتاج المرتفعة. يعمل النظام على مدار 24 ساعة دون أي توقف غير مخطط له، كما أن استخدام الطاقة يقل بفضل الاتصال الفعال والخسائر الدنيا أثناء الوضع الخامل. يمكن الحصول على تحكم مستقر في الأبعاد الحرجة للرقائق، وتقليل عدد الرقائق التي تحتاج إلى إعادة معالجة، بالإضافة إلى توقعات أفضل لمعدلات الإنتاج، دون الحاجة إلى تغيير وصفات العمليات الحالية.
ما الذي يجب أخذه في الاعتبار عند التخطيط؟ يتطلب التركيب مطابقة أنظمة العادم وإمدادات الغاز وواجهات الأجهزة في قاعة التصنيع. نحن نوفر الرسومات الخاصة بالواجهات ونتولى عملية التشغيل. نظرًا لأن الضوء تحت الأحمر يسخن المواد مباشرة، فإن اختلافات الانبعاث الحراري قد تؤثر على الاستجابة المحلية – ويقوم النظام بتعويض ذلك، لكن لا يزال من الضروري ضبط الوصفات الخاصة بالعمليات الجديدة. يتم إجراء اختبار واحد لتحديد منحنى التسخين، وبعد ذلك يصبح النظام جاهزًا للاستخدام ومتوافقًا مع المعايير المطلوبة.