আইআর হিটিং বনাম ফোর্সড এয়ার: ওয়েফারগুলোর জন্য কোনটি আসলে কার্যকর?
যদি আপনি ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের জন্য হট এয়ারের পরিবর্তে আইআর হিটিং ব্যবহার করতে চান, তাহলে এখানে “আরও ভালো” তাপ উৎস খোঁজার চেয়ে গুরুত্বপূর্ণ হলো কীভাবে সেই শক্তিটি সিলিকনে পৌঁছানো যায়।
ফোর্সড এয়ারের ক্ষেত্রে অপেক্ষা করতে হয়; আপনি বাতাসকে উত্তপ্ত করেন, আর তারপর সেই বাতাসই ওয়েফারকে উত্তপ্ত করে। এটা ধীর প্রক্রিয়া।
আইআর হিটিং-এর ক্ষেত্রে তেমন কোনো অপেক্ষা লাগে না। এটা রেডিয়েশনের মাধ্যমে তাপ সরবরাহ করে; ফলে তাপটি সরাসরি ওয়েফারের পৃষ্ঠে পৌঁছায়। কোনো মধ্যবর্তী উপায় নেই।
সময় সবসময়ই গুরুত্বপূর্ণ
হট এয়ার ব্যবহার করলে থার্মাল ইনার্শিয়ার সাথে লড়তে হয়। ওয়েফারটি উত্তপ্ত হতে অনেক সময় লাগে। ব্যবসায়িক পরিবেশে এটা অপচয় মাত্র। আইআর ল্যাম্পগুলো এই বিলম্বকে দূর করে। তাপ সরবরাহ প্রায় তাৎক্ষণিকভাবেই ঘটে।
আপনার উৎপাদন ক্ষমতার কথা ভাবুন। যদি কনভেকশন পদ্ধতিতে ১০ মিনিট সময় লাগে, আর আইআর পদ্ধতিতে মাত্র ৩০ সেকেন্ড… তাহলে আপনার ঘন্টায় উৎপাদিত ওয়েফারের সংখ্যা অনেক বেশি হবে। এটা আপনার কাজের গতিকে বাড়িয়ে দেয়।
সঠিক তাপ পাওয়া
আমরা সবাই অসমান তাপ প্রয়োগের সমস্যার মুখোমুখি হয়েছি। ফোর্সড এয়ারের ক্ষেত্রে ঠান্ডা অঞ্চলগুলো থেকে যায়, যা নিয়মিততার জন্য সমস্যা সৃষ্টি করে।
আইআর হিটিং-এর ক্ষেত্রে আমরা ল্যাম্পগুলোর ব্যবস্থাপনা দিয়ে এই সমস্যাগুলো সমাধান করতে পারি। ফলে ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারের সমগ্র পৃষ্ঠে সমান তাপ থাকে। কোনো সমস্যা নেই।
সমস্যাগুলো
আইআর হিটিং কোনো “জাদুর ছড়ি” নয়। এর তাপ ঘনত্ব খুবই বেশি। এটা খুব দ্রুত ঘটে, তাই যদি PID লুপগুলো সঠিকভাবে সেট না করা হয়, তাহলে লক্ষ্য তাপমাত্রার বেশি হয়ে যেতে পারে। আপনার দরকার হবে উচ্চ-গতির সেন্সর ও শাটারগুলো; নইলে ওয়েফারগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হবে।
আর প্রক্রিয়া শেষ হওয়ার পর তাপটি দ্রুত দূর করার জন্য একটি শক্তিশালী কুলিং সিস্টেম দরকার। নইলে ওয়েফারগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হবে।