কেন আমরা সেমি-প্রসেসিংয়ে হট এয়ারের বদলে IR ল্যাম্প ব্যবহার করছি?
যারা সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে কাজ করেন, তারা জানেন যে সময়ই হলো সবচেয়ে বড় বাধা। এই কারণেই আমরা ফোর্সড এয়ার কনভেকশনের বদলে অত্যন্ত উচ্চ বিশুদ্ধতার IR ল্যাম্প ব্যবহার করছি।
আসলে ব্যাপারটা হলো কীভাবে তাপ সরানো হয়। এয়ার হিটিং খুবই ধীর প্রক্রিয়া; আপনি শুধুমাত্র গরম গ্যাসকে একটি পৃষ্ঠের উপর ঠেলে দিচ্ছেন। এটা খুবই ধীর প্রক্রিয়া… আর এটাই দূষণ ঘটানোর কারণ হতে পারে। কিন্তু IR ল্যাম্পগুলো ভিন্ন ধরনের পদ্ধতি ব্যবহার করে—তারা ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক রেডিয়েশন ব্যবহার করে তাপকে সরাসরি লক্ষ্যবস্তুতে পাঠায়। কোনো মধ্যবর্তী উপাদান নেই… শুধুমাত্র সরাসরি শক্তি।
গতিই হলো এখানকার গুরুত্বপূর্ণ বিষয়।
এয়ার হিটারের ক্ষেত্রে আপনাকে প্রথমে বাতাসকে উত্তপ্ত করতে হয়, তারপর চেম্বারকে, আর তারপর ওয়েফারকে। এটা খুবই ধীর প্রক্রিয়া। কিন্তু UHP IR ল্যাম্পের ক্ষেত্রে? মাত্র কয়েক মিলিসেকেন্ডেই আপনি কাঙ্ক্ষিত তাপমাত্রায় পৌঁছাতে পারেন।
একজন ইঞ্জিনিয়ারের জন্য এটা সত্যিই চমৎকার ব্যাপার। কম সময়েই আরও বেশি পরিমাণে ওয়েফার প্রক্রিয়াজাত করা যায়… আর বড় ক্লিনরুম তৈরি করার দরকারও নেই। সবকিছুই দ্রুত হয়ে যায়।
এখন, ল্যাম্পগুলো সম্পর্কে কথা বলা যাক।
এখানে যেকোনো বাল্ব ব্যবহার করা যায় না। আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ব্যবহার করি… কারণ UHP পরিবেশে গ্যাস নির্গমন হলো একটি বড় সমস্যা। ল্যাম্পে একটি ছোট্ট অশুদ্ধি থাকলেই ওয়েফারটি নষ্ট হয়ে যায়।
আমরা এই ল্যাম্পগুলোকে নির্দিষ্ট তরঙ্গদৈর্ঘ্যে সামঞ্জস্য করি। আমরা চাই যে তাপটি সরাসরি ওয়েফারে পৌঁছাক… চারপাশের যন্ত্রপাতিগুলোকে উত্তপ্ত করার দরকার নেই। এখানে নির্ভুলতাই গুরুত্বপূর্ণ।
কিন্তু এটা এতটাও সহজ নয়।
IR ল্যাম্পগুলো খুবই শক্তিশালী। হট এয়ারের বিপরীতে, IR ল্যাম্পগুলো সরাসরি তাপ পাঠায়। যদি আপনার জোনিং ঠিকমতো না করা হয়, তাহলে তাপমাত্রার বৈষম্য দেখা দেবে।
আপনি এগুলোকে যেকোনো পুরানো এয়ার-সার্কুলেটিং ওভেনে রাখলেই হবে এমন নয়… আপনার একটি নির্ভরযোগ্য PID কন্ট্রোল সিস্টেম দরকার… আর সম্ভবত আরও উন্নত কুলিং সিস্টেমও দরকার।
আর একটি গুরুত্বপূর্ণ টিপ: আপনার পাওয়ার সাপ্লাইটি ঠিক রাখুন। যদি ভোল্টেজে তরঙ্গ থাকে, তাহলে ওয়েফারের গুণমান কমে যাবে। ভোল্টেজটিকে স্থিতিশীল রাখুন… তাহলেই সবকিছু ঠিক থাকবে।