Udržování čistoty waferů při sušení (a vysoká úrovně výnosů)
Když sušíte wafery senzorů typu MEMS v prostředí s úrovní čistoty Class 100, nemůžete si dovolit žádné překvapení. Stačí jediný drobný kousek materiálu nebo trocha plynů uvolňovaných z zdroje tepla – a vaše výnosy okamžitě klesnou. Je to frustrující.
Proto používáme IR lampy vyrobené z vysoce čistého syntetického křemene.
Proč je křemen opravdu důležitý
Standardní sklo nebo levné materiály prostě nevydrží. Při vysokých teplotách mohou uvolňovat kovové nečistoty. Ještě horší je, že se mohou rozbít nebo „opadnout“ při rychlém změnách teploty. To nikdo nechce.
Používáme vysoce čistý křemen, protože dokáže odolat tepelným šokům. Navíc, jelikož jde o IR záření, teplo pronikne do vlhkosti na waferu a okamžitě ji odpaří. Žádné dotýkání, žádné tření – a rozhodně žádné mechanické poškrábání.
Odstranění nepotřebných prvků
Abychom dosáhli potřebného výkonu pro rychlé sušení, je důležité, co se nachází uvnitř lampy. Používáme vysoce kvalitní wolfram a ventily vhodné pro vysoký vakuum, abychom zajistili, že žádné plyny neuniknou ven. Díky tomu dostaneme koncentrované záření krátkovlnného IR, které dopadne na wafer právě v tu správnou chvíli.
Jsme velmi vybíraví ohledně „dalších prvků“. Na těchto lampách nenajdete levné lepidla nebo organické povlaky. Proč? Protože ty se spálí. A když se spálí, znečistí vaše prostředí s vysokou úrovní čistoty. Každá součást – od křemenného obalu po elektrody – je vybrána tak, aby neuvolňovala žádné plyny. Jednoduše.
Skutečné kompromisy
Tyto lampy jsou sice výkonné, ale zároveň velmi horké. Nejen na samotném waferu, ale i na koncích lampy.
Je potřeba pečlivě zkontrolovat systém chlazení. Pokud je průtok vzduchu příliš slabý, teplo se bude hromadit v konektorech a postupně poškozuje elektroinstalaci. Je to jednoduché řešení, ale velmi důležité.
Snažili jsme se minimalizovat velikost lampy, aby se snadno zařadily do vašich automatizovaných systémů pro manipulaci s wafery. Pasují stejně jako standardní IR lampy, ale právě vysoká čistota zajišťuje, že vaši senzory neprodělají selhání během testování.