Hören Sie auf, Ihre Energie zu verschwenden!
Wenn Sie Siliziumwafern erhitzen, zählt jeder einzelne Watt. Das Problem ist folgendes: Herkömmliche IR-Emitter strahlen Energie in alle Richtungen aus – also in einem 360-Grad-Kreis. Das bedeutet, dass die Hälfte der Energie dazu dient, das Gehäuse der Maschine zu erwärmen, anstatt die Wafer selbst. Das ist eine Verschwendung.
Wir lösen dieses Problem, indem wir reflektierende Elemente mit Goldbeschichtung sowie Hochreinigkeitskeramikkappen verwenden. Auf diese Weise wird die gesamte Energie genau dorthin geleitet, wohin sie gehört – direkt nach unten.
Warum Gold?
Weil Gold am besten in der Lage ist, Infrarotwellen zurückzuschwingen. Wir verwenden eine dünne Goldschicht – im Gegensatz zu Aluminium oxidiert Gold bei hohen Temperaturen nicht. Sie müssen also nicht mit dem lästigen „Trübwerden“ des Materials nach einigen Hundert Stunden Nutzung rechnen. Das Material bleibt weiterhin klar und funktionsfähig.
Das Ergebnis?
Auf der Oberfläche der Wafer entsteht ein viel stärkerer Wärmefluss – doch Ihre Stromkosten bleiben gleich.
Die „unsichtbaren Helden“: Keramikkappen
Diese dienen als Brücke zwischen dem Quarztube und den elektrischen Anschlüssen. Sie sind so konstruiert, dass sie extremen Temperaturschwankungen standhalten können. Sie verhindern elektrische Entladungen und halten den Emmitter an seinem Platz. Das ist sehr wichtig – denn schon kleine Verschiebungen führen zu „heißen Punkten“ auf der Waferoberfläche. Und heiße Punkte bedeuten beschädigte Bauteile. Das will niemand.
Ein paar Dinge, die man beachten sollte
Diese Anlagen sind sehr leistungsfähig – dadurch kann die Erwärmung der Wafer viel schneller erfolgen, was die Produktivität verbessert. Doch es gibt einen Nachteil: Die konzentrierte Wärme übt großen Druck auf das Kühlsystem aus. Wenn das Kühlsystem nicht ausreicht, kann das Gehäuse des Reflektors beschädigt werden. Überprüfen Sie das unbedingt.
Wir haben diese Anlagen so entworfen, dass sie direkt als Ersatz für die vorhandenen Komponenten in Reinräumen verwendet werden können. Sie können sie einfach in Ihre bestehende Stromversorgung anschließen. Stellen Sie nur sicher, dass Sie die PID-Controller so einstellen, dass sie schneller reagieren – sie werden nämlich viel schneller reagieren, als Sie es gewohnt sind.
Noch ein Tipp: Gold ist weich. Bitte vermeiden Sie es, die Reflektoren mit abrasiven Reinigungsmitteln zu behandeln. Kratzer im Goldfilm zerstören die Funktion der Anlage.