Hören Sie auf, Energie zu verschwenden!
Wenn Sie einen Ofen in einem Reinraum zur Aushärtung oder zum Backen von Wafern nutzen, kennen Sie sicherlich die Frustration, wenn die Energie einfach so verschwindet. Die meisten Standardreflektoren sind ziemlich undicht – sie lassen zu viel Wärme in die Wände des Ofens entweichen. Das bedeutet im Grunde, dass man Geld für Strom ausgibt, nur um den Raum zu erwärmen.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir reflektierende Oberflächen mit Goldbeschichtung verwendet haben. Warum Gold? Weil es hervorragend darin ist, langwellige Infrarotstrahlung wieder dorthin zurückzuschicken, wo sie hingehört. Anstatt das Gehäuse zu erwärmen, trifft die Energie direkt auf die Wafer.
Die Wärme genau dort einsetzen, wo sie gebraucht wird
Es geht hier nicht darum, die Leistung zu erhöhen oder mehr Energie in das System einzubringen. Es geht vielmehr darum, klüger mit der bereits vorhandenen Energie umzugehen. Durch die Kombination einer hochleistungsstarken Infrarotquelle mit einem parabolischen oder ellipsenförmigen Reflektor mit Goldbeschichtung verhindern wir, dass die Photonen sich verteilen. Dadurch entsteht eine konzentrierte Wärmestelle – und die Aufheizzeit wird deutlich verkürzt. Es handelt sich dabei um eine sauberere, direktere Wärmeverteilung.
Probleme in einem Reinraum
In einem Reinraum kann man nicht einfach irgendein Material verwenden. Billiges Aluminium oder poliertes Stahl können abplatzen oder Gase abgeben – das ist ein Albtraum für die Produktqualität. Gold hingegen oxidiert nicht. Wir applyn die Goldbeschichtung mittels Vakuumabscheidung, sodass sie auch bei schwankenden Temperaturen an ihrem Platz bleibt.
Aber Achtung: Halten Sie die Oberfläche sauber! Selbst ein kleiner Staubpartikel oder eine Spur organischer Rückstände kann die Effizienz stark beeinträchtigen. Wenn der Reflektor schmutzig wird, wird die Wärmeverteilung gestört – und es entstehen kältere Stellen auf den Wafern.
Die Herausforderungen
Diese Konfiguration erzeugt eine hohe Wärmedichte. Dadurch verkürzt sich die Bearbeitungszeit stark – doch gleichzeitig wird der PID-Controller stark belastet. Man benötigt daher Sensoren mit schneller Reaktionszeit – sonst wird die Zieltemperatur schnell überschritten.
Vergessen Sie außerdem die Kühlventilatoren nicht. Wenn diese nicht in der Lage sind, die reflektierte Wärme am Rand des Ofens zu bewältigen, kann das Gehäuse beschädigt werden. verwenden Sie außerdem Hochtemperaturkabel für die Verbindungen. Das Letzte, was man sich wünscht, ist, dass die Isolierung in der Nähe des Fokuspunkts schmilzt.