Auf dem Fertigungsboden reicht ein Drift von 0,3 °C während des Photoresist-Backens aus, um eine ganze Charge in Schrott zu verwandeln. Sie verfolgen bereits die CD-Einheitlichkeit, das Resistprofil und die Partikelanzahl, und thermische Variabilität verringert ständig den Ertrag und die Betriebszeit. Wir haben den Halbleiterlaserdioden-Heizer entwickelt, um diesen Drift an der Quelle zu beseitigen.
Technisch relevant
Die Einheit kombiniert eine Laserdiode mit einem entwickelten thermischen Stapel, um eine Wafer-Einheitlichkeit von ±0,1 °C über der Backfläche zu erreichen. Die Reaktionszeit liegt unter 300 ms, sodass die Temperatur schnell nach Türöffnungs- und -schließereignissen stabilisiert wird, und die Wiederholgenauigkeit von Lauf zu Lauf bleibt innerhalb von ±0,05 °C. Der Heizkörper besteht aus Quarz und hochreiner Keramik, ohne Bindemittel-Ausgasung, und funktioniert sauber in Klassen 1–100-Umgebungen, wodurch die Partikelerzeugung unter 0,1 Partikel/cm² gehalten wird. Er ist ein geschlossenes Regelungssystem mit einem kalibrierten Sensor, der über mehrere Zonen hinweg angeordnet ist, sodass Sie rezeptgesteuerte Kompensation für Rand-Effekte anwenden können.
Hier ist der Grund, warum er in der Lithografie zuverlässig ist. Das Soft-Bake und Hard-Bake setzen die Viskosität, Haftung und kritischen Dimensionen des Resists. Wenn das thermische Budget stabil bleibt, erhalten Sie eine engere CD-Verteilung, weniger Nacharbeiten und weniger Ausschuss durch verbundene Merkmale oder Fußungen.
Diese Stabilität reduziert ungeplante Stopps – keine Bake-Plattenfehler mehr, kein Warten mehr, bis die Platte sich stabilisiert. Der Energieverbrauch sinkt ebenfalls, da die schnelle Stabilisierung und enge Regelung das Überschießen und die Leerlaufwärme eliminieren, die Energie verschwenden.
Und wenn Sie Verpackungslinien betreiben, die von kontrollierter Erwärmung für die Vorbereitung des Die Attach abhängen, bleibt die Wiederholgenauigkeit durchgängig. Sie sehen weniger Hohlräume und eine höhere Erstpassabdeckung.
Einige praktische Hinweise, bevor Sie ihn in Ihre Spezifikation aufnehmen. Der Heizer funktioniert mit Standard-Werkzeug-Schnittstellen, aber die thermische Karte muss während der Installation an Ihre Plattengeometrie und Sensorstandorte angepasst werden. Erwarten Sie einen kurzen Inbetriebnahme-Lauf, um die Zonenoffsets und Rezeptgrenzen festzulegen.
Die Optik benötigt eine saubere, trockene Luft- oder Stickstoffspülung, um die Ausgabe stabil zu halten. Betrachten Sie das Fenster als Verbrauchsmaterial und planen Sie Austauschintervalle in Ihren PM-Zeitplan ein.