متوقف کنید هدر رفتن انرژی را!
اگر از فرهای مورد استفاده در اتاقهای تمیز برای خشک کردن یا پختن ویفرها استفاده میکنید، حتماً از این موضوع ناراحت شدهاید؛ یعنی انرژی به طور بیهوده هدر میرود. اکثر آینههای استاندارد، انرژی را به راحتی به دیوارههای فر منتقل میکنند؛ در واقع، این کار مانند پرداخت هزینه برق صرفاً برای گرم کردن اتاق است.
ما این مشکل را با استفاده از آینههای پوشیده شده با طلا برطرف کردیم. چرا طلا؟ چون این ماده بسیار خوب در بازتاب تشعشعات مادون قرمز عمل میکند. در نتیجه، انرژی به جای گرم کردن بدنه فر، مستقیماً به ویفر منتقل میشود.
انتقال انرژی به محل مناسب
موضوع این نیست که توان فر را افزایش دهیم؛ بلکه موضوع این است که از انرژی موجود به بهترین شکل استفاده کنیم.
با ترکیب یک منبع تشعشعات مادون قرمز با آینههای پارابولیک یا بیضی پوشیده شده با طلا، میتوانیم از پراکندگی فوتونها جلوگیری کنیم. در نتیجه، نقطه گرمایی مشخصتر میشود و زمان لازم برای گرم شدن ویفر کاهش مییابد.
چالشهای اتاقهای تمیز
در اتاقهای تمیز، نمیتوان از هر مادهای استفاده کرد. آلومینیوم ارزان یا فولاد صیقلی میتوانند تخریب شوند؛ این موضوع بر کیفیت کار شما تأثیر منفی دارد. طلا اما اکسید نمیشود.
ما این پوشش را با روش تزریق در فشار منفی اعمال میکنیم؛ بنابراین این پوشش حتی در شرایط دمایی متغیر نیز در جای خود باقی میماند.
اما یک هشدار مهم: حتماً سطح طلا را تمیز نگه دارید. حتی کمترین مقدار گرد و غبار یا رسیدگیهای آلی میتواند باعث کاهش کارایی فر شود. اگر سطح آینه کثیف شود، توزیع گرما نامنظم میشود و نقاط سردی روی ویفر ایجاد خواهد شد.
مزایا و معایب
این روش باعث ایجاد تراکم گرمای بالایی میشود؛ اما این کار زمان پردازش را به طور قابل توجهی کاهش میدهد. البته این روش فشار زیادی روی کنترلرهای PID وارد میکند. بنابراین نیاز به سنسورهایی با سرعت پاسخگویی بالا وجود دارد؛ در غیر این صورت، دمای مورد نظر زودتر از حد مشخص شده رسیده خواهد شد.
همچنین، فراموش نکنید که از فنهای خنککننده مناسب استفاده کنید؛ در غیر این صورت، ممکن است بدنه فر دچار تغییر شکل شود. همچنین، از سیمهایی با مقاومت حرارتی بالا برای سیمکشی استفاده کنید؛ چون آخرین چیزی که میخواهید، ذوب شدن عایقها در نزدیکی نقطه کانونی است.