در کارخانههای تولید، شما میدانید که چه اتفاقاتی میافتد: تغییر ۰.۵ درجه سانتیگراد در دمای حرارتدهی، میتواند ابعاد مهم قطعات را تغییر دهد و باعث شود که بخش زیادی از محصولات نامرغوب شوند. آنچه که لازم است، حرارتی است که در هر چرخه، حتی در شرایط وجود جریان هوای مناسب، شکلهای هندسی ویفرها و برنامههای لیتوگرافی، پایدار باقی بماند.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما این سیستم را با استفاده از منابع نور مادونقرمز نزدیک (NIR) ساختهایم؛ این منابع دارای خروجی طیفی دقیقی هستند، بنابراین حرارتدهی سریع و بدون تماس انجام میشود. در سراسر ویفر، یکنواختی حرارتی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین قابلیت تکرار دمای مورد نظر نیز در همین محدوده است. این سیستم برای کلاسهای ۱ تا ۱۰۰ اتاقهای تمیز مناسب است؛ همچنین منطقه حرارتدهی، تولید ذرات را به حداقل میرساند. الگوهای حرارتدهی نرم و سخت نیز با کنترل دقیق دما اجرا میشوند؛ این امر باعث پایداری عرض خطوط و کاهش نقصها میشود.
چرا این سیستم در لیتوگرافی مفید است؟
در فرآیندهای لیتوگرافی، نور مادونقرمز باعث افزایش سریع دما و کاهش مقاومت حرارتی میشود؛ این امر باعث کاهش زمان تغییر فرآیند و افزایش سرعت تولید میشود. این سیستم میتواند ۲۴ ساعته بدون هیچ توقفی کار کند؛ همچنین مصرف انرژی نیز به دلیل اتصالات کارآمد و کاهش هدررفت انرژی، کم است. شما میتوانید کنترل پایداری ابعاد مهم قطعات را داشته باشید، تعداد محصولات نامرغوب کاهش یابد و رفتار تولید قابل پیشبینی باشد؛ بدون نیاز به تغییر روشهای فعلی تولید.
چه چیزهایی باید در نظر بگیرید؟
برای نصب این سیستم، باید اتصالات مربوط به خروجی گاز، تأمین گاز و سایر امکانات کارخانه را در نظر بگیرید. ما نقشههای مربوطه را فراهم میکنیم و مراحل راهاندازی سیستم را انجام میدهیم. از آنجایی که نور مادونقرمز مستقیماً حرارت تولید میکند، تفاوتهای انتشار حرارت در لایههای مختلف میتواند بر پاسخ محلی تأثیر بگذارد؛ کنترلر این تفاوتها را جبران میکند، اما شما همچنان باید روشهای تولید را برای لایههای جدید تنظیم کنید. پس از انجام یک آزمایش، این سیستم به یک پلتفرم حرارتی با استانداردهای مشخص تبدیل میشود.