در سالن تولید، پخت فوتورزیست اختیاری نیست—این بودجه حرارتی شماست. تغییر یک درجه سانتیگراد میتواند اندازه خطوط (CD) را جابجا کند و ذرهای از بازتابنده فرسوده میتواند یک ویفر را خراب کند. بازتابنده در چراغ پخت، خط اول دفاع برای کنترل حرارتی و آلودگی است.
از نظر فنی، یک عدد اهمیت دارد: یکنواختی دمای ±0.1°C در طول پخت نرم و پخت سخت روی ویفر. ما بازتابنده را بر اساس این معیار میسازیم و هندسه آن را تنظیم میکنیم تا ناحیهای ایزوترمال قابل تکرار ایجاد شود تا کنترل عرض خطوط بین بچهای مختلف تغییر نکند.
جنس ماده سازگار با اتاق تمیز است و پرداخت سطح آن باعث کاهش تولید گازهای خروجی و ذرات میشود. پوسته شدن ندارد. مهاجرت ذرات ندارد. و کارایی طیفی را در طول عمر چراغ حفظ میکند، بنابراین نقطه تنظیم همان نقطه تنظیم باقی میماند و پروفایل حرارتی پایدار میماند.
در لیتوگرافی، به عملکرد پخت قابل اتکا نیاز دارید، هر بار. این بازتابنده توزیع انرژی را ثابت نگه میدارد، بنابراین جریان فوتورزیست و حذف حلال در ویفر سیصدم همانند اولین ویفر عمل میکند. نتیجه کاهش دوبارهکاریها، توزیع دقیقتر CD و بازدهی بدون نوسان است.
همچنین برای عملیات در کلاس 1–100 اتاق تمیز مناسب است و کنترل ذرات آن با محیط هماهنگ است. زمان کارکرد بالا حاصل این است که سیستم درگیر جبران انحراف نیست.
نصب صرفاً به تراز کردن محور چراغ و سطح زیرلایه مربوط میشود. عدم تراز باعث از بین رفتن یکنواختی و ایجاد نقاط داغ میشود. پیش از ادغام، اطمینان حاصل کنید که نوع چراغ و رابط نصب بازتابنده با هم هماهنگ باشند.
پس از راهاندازی، انتظار یک دوره سوختگی کوتاه برای تثبیت نقشه حرارتی را داشته باشید، سپس پروفایل پخت را مجدداً ارزیابی کنید. بازتابنده را به عنوان یک قطعه مصرفی مرتبط با کنترل فرآیند در نظر بگیرید و بر اساس یکنواختی اندازهگیری شده و روند ذرات آن را تعویض کنید، نه بر اساس تاریخ تقویمی.