Arrêtez de gaspiller votre énergie
Si vous utilisez un four pour salle propre à la cuisson ou au séchage des wafers, vous connaissez bien ce sentiment d’impuissance face à l’énergie qui s’échappe inutilement. La plupart des réflecteurs standards laissent passer trop de chaleur vers les parois du four. En somme, c’est comme payer pour de l’électricité rien que pour chauffer la pièce autour du four. Nous avons résolu ce problème en utilisant des réflecteurs recouverts d’or. Pourquoi l’or ? Parce qu’il est incroyablement efficace pour renvoyer les rayonnements infrarouges à leur source. Au lieu de chauffer le châssis du four, l’énergie atteint directement le wafer.
Diriger la chaleur là où elle est nécessaire
Il ne s’agit pas de augmenter la puissance ou d’ajouter plus d’énergie au système. Il s’agit plutôt d’utiliser de manière plus intelligente l’énergie dont on dispose déjà. En combinant une source infrarouge à haute puissance avec un réflecteur parabolique ou elliptique recouvert d’or, on empêche les photons de se disperser. On obtient ainsi une concentration de chaleur plus importante et un temps de chauffe beaucoup plus rapide. C’est une solution plus efficace et plus directe.
Les défis dans une salle propre
Dans une salle propre, on ne peut pas utiliser n’importe quel matériau. L’aluminium bon marché ou l’acier poli peuvent se détériorer avec le temps, ce qui est un vrai problème pour la qualité des produits. L’or, lui, ne s’oxyde pas. Nous appliquons cette fine couche d’or par dépôt sous vide, afin qu’elle reste en place, même lorsque la température varie constamment. Mais attention : il faut absolument que la surface reste propre. Même une petite quantité de poussière ou de résidus organiques peut compromettre l’efficacité du système. Si le réflecteur se salit, la distribution de la chaleur sera perturbée, et vous verrez apparaître des zones froides sur le wafer.
Les compromis
Cette configuration génère une forte densité de chaleur. Cela réduit considérablement le temps de traitement, mais cela exerce une grande pression sur les contrôleurs PID. Il vous faudra donc des capteurs rapides, sinon vous risquez de dépasser la température cible sans le vouloir. N’oubliez pas non plus les ventilateurs de refroidissement. S’ils ne sont pas conçus pour gérer la chaleur reflétée aux extrémités du four, le boîtier pourrait se déformer. Utilisez également des fils électriques résistants à haute température. Ce que vous voulez surtout éviter, c’est que l’isolation fond près du point focal.