Sur le terrain de fabrication, on connaît bien les enjeux : une variation de 0,5 °C dans la température de cuisson peut provoquer des variations de quelques nanomètres dans les dimensions critiques des composants, ce qui entraîne des pertes importantes en produits finis. Ce qu’il faut, c’est une source de chaleur fiable, cycle après cycle, même en présence de courants d’air dans la salle propre, de variations géométriques des wafers ou de contraintes liées aux procédures de lithographie.
Ce qui est important dans ce système
Nous avons conçu ce système autour de sources infrarouges à spectre contrôlé, ce qui permet une chauffe rapide et sans contact. La uniformité thermique sur tout le wafer reste comprise entre ±0,1 °C, et la répétabilité des valeurs de température est également excellente. Ce système est adapté aux salles propres de classe 1 à 100, et la zone de chauffe limite au minimum la génération de particules. Les profils de chauffe permettent un contrôle précis de la température, ce qui garantit des lignes régulières et réduit les défauts.
Pourquoi cela est utile en lithographie
En lithographie, l’infrarouge permet une montée en température rapide et réduit l’inertie thermique. Cela accélère les changements de procédés et maintient un débit constant. La plateforme fonctionne 24/7 sans temps d’arrêt inattendus, et la consommation d’énergie est réduite grâce à un couplage efficace et à des pertes minimales en mode veille. On obtient ainsi un contrôle stable des dimensions critiques, moins de retouches nécessaires, et un rendement prévisible – sans avoir à modifier les procédures existantes.
Ce qu’il faut prévoir
L’installation nécessite une adaptation des systèmes de ventilation, d’approvisionnement en gaz et des autres interfaces nécessaires. Nous fournissons les plans d’interface et nous nous occupons de la mise en service du système. Comme l’infrarouge chauffe directement, les différences d’émissivité entre les différents matériaux peuvent influencer la réponse locale au chauffage. Le contrôleur compense ces effets, mais il est encore nécessaire d’ajuster les paramètres pour chaque nouveau type de matériau. Il suffit de réaliser une série de tests pour définir correctement la courbe de chauffe ; après cela, on dispose d’une plateforme thermique fiable, conforme aux normes en vigueur.