Maintenir vos wafers propres pendant le processus de séchage (et ainsi maximiser vos rendements)
Lorsque vous séchez des wafers de capteurs MEMS dans une salle propre de classe 100, vous ne pouvez vous permettre aucun imprévu. Un seul petit fragment de matériau ou une légère émission de gaz provenant de la source de chaleur suffit à faire chuter vos rendements. C’est frustrant.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes à rayonnement infrarouge en quartz de haute pureté.
Pourquoi le quartz est si important ?
En réalité, le verre ordinaire ou les matériaux bon marché ne conviennent pas. Lorsqu’on les soumet à de hautes températures, ils peuvent libérer des impuretés métalliques. Pire encore, ils peuvent se fissurer ou se détériorer lors des cycles de chauffage rapides. Personne ne veut ça.
Nous utilisons du quartz de haute pureté parce qu’il résiste parfaitement aux chocs thermiques. De plus, étant donné que c’est un rayonnement infrarouge, la chaleur pénètre directement dans l’humidité présente sur le wafer et l’évapore instantanément. Aucun contact physique n’est nécessaire, et il n’y a absolument aucune chance de rayures mécaniques.
Éliminer les éléments indésirables
Pour obtenir la puissance nécessaire au séchage rapide, tout dépend de ce qui se trouve à l’intérieur de la lampe. Nous utilisons du tungstène de haute qualité et des joints hermétiques pour éviter toute fuite de gaz. Ainsi, un rayonnement infrarouge concentré atteint le wafer au moment opportun.
De plus, nous sommes très exigeants quant aux composants utilisés. Vous ne trouverez pas de colle bon marché ou de revêtements organiques sur ces lampes. Pourquoi ? Parce que ces éléments se brûlent et contaminent alors la salle propre. Chaque pièce, depuis l’enveloppe en quartz jusqu’aux électrodes, est choisie pour ne pas libérer de gaz. Point final.
Les compromis réels
Ces lampes sont puissantes, ce qui signifie qu’elles deviennent très chaudes. Non seulement le wafer est chauffé, mais aussi les extrémités de la lampe. Il est donc important de vérifier correctement les systèmes de refroidissement. Si le flux d’air est insuffisant, la chaleur s’accumulera aux points de connexion et finira par endommager les câbles. C’est une solution simple, mais cruciale.
Nous avons conçu ces lampes de manière à ce qu’elles s’intègrent facilement dans vos systèmes de traitement automatisé. Elles s’adaptent parfaitement aux systèmes standards, mais c’est leur haute pureté qui permet de garantir que vos capteurs ne subissent pas de défauts lors des tests.