Arrêtez de laisser les lampes qui explosent mettre en péril la qualité de vos wafer.
Dans une chaîne de production de semi-conducteurs à forte charge, l’explosion d’une seule lampe est un véritable cauchemar. Il ne s’agit pas seulement du temps d’arrêt de production : il y a aussi le problème de la saleté générée par l’explosion. Lorsqu’une lampe explose, elle projette des morceaux de quartz et des oxydes métalliques sur les wafer. Ce type de contamination secondaire peut détruire non seulement un seul wafer, mais aussi des lots entiers. C’est un vrai problème coûteux et frustrant.
Nous avons décidé de résoudre ce problème en repensant la manière dont nous fabriquons nos lampes infrarouges.
Le problème du câblage
La plupart des câblages standards ne peuvent pas supporter les cycles constants de chauffage et de refroidissement des chauffages à semi-conducteurs. Ils échouent donc. Nous utilisons plutôt des revêtements en Téflon de haute qualité pour les fils conducteurs. Pourquoi ? Parce que le Téflon ne libère pas de gaz et ne fond pas. Si l’isolation fond, cela provoque des contaminants organiques sur les wafer. Si elle se détériore, cela entraîne des courts-circuits. Le Téflon, lui, reste en place. C’est exactement ce qu’on attend d’un fil conducteur.
Préserver l’intégrité du verre
La plupart des explosions surviennent à cause des chocs thermiques ou d’un serrage insuffisant entre le quartz et les électrodes. Nous avons renforcé ce serrage pour empêcher l’air d’y pénétrer. Cela empêche le filament en tungstène d’oxyder prématurément, ce qui permet à la lampe de fonctionner plus longtemps.
Mais soyons réalistes : rien n’est 100 % étanche. C’est pourquoi nous ajoutons un revêtement protecteur. Il peut bloquer une petite partie des rayons infrarouges, mais il protège les wafer en cas d’explosion. Vous perdez une petite fraction de chaleur, mais vous sauvez vos wafer. C’est un compromis que je suis prêt à accepter à chaque fois.
Faites attention à la densité de chaleur
Les lampes à haute puissance sont idéales pour les processus de traitement thermique rapide. Mais toute cette chaleur met beaucoup de pression sur le quartz.
Un conseil : vérifiez bien votre système de refroidissement. Si le flux d’air est insuffisant, les extrémités de la lampe vont surchauffer et se brûler bien avant l’heure.
Le meilleur côté ? Ce sont des remplacements compatibles directement avec les anciennes lampes. Vous n’avez pas besoin de reconstruire votre équipement. Il suffit de vérifier la tension et la puissance, de connecter les câbles, de calibrer le pyromètre, et vous êtes prêt à reprendre le travail.