שמירה על ניקיון שבבי ה-MEMS בזמן הייבוש (ועל שיעורי ההצלחה הגבוהים)
כאשר מייבשים שבבי חיישני MEMS בחדר נקי מסוג Class 100, אי אפשר להרשות לעצמך שום הפתעות. פיסה קטנה של חומר או כמות קטנה של גזים שנפלטים ממקור החום יכולים לפגוע קשות באיכות השבבים. זה מתסכל מאוד.
לכן אנו משתמשים בנורות IR מקוורץ בעלות טוהר גבוה.
למה הקוורץ חשוב כל כך?
העניין הוא שזכוכית רגילה או חומרים זולים אינם עמידים. כאשר מחממים אותם לטמפרטורות גבוהות, הם עלולים לשחרר חומרים מתכתיים. גרוע מכך, הם עלולים להישבר או להתפזר באבק כאשר החום משתנה במהירות. אף אחד לא רוצה את זה.
אנו משתמשים בקוורץ בעלות טוהר גבוה מכיוון שהוא עמיד בפני שינויי טמפרטורה קיצוניים. בנוסף, מכיוון שמדובר בקרינת IR, החום חודר לתוך הלחות שעל השבב ומאדה אותה מיד. אין צורך במגע או חיכוך, ואין שום סיכוי לפגיעה מכאנית בשבב.
הסרת החומרים המזהמים
כדי לקבל את כמות החום הדרושה לייבוש מהיר, חשוב מאוד שהנורה תהיה נקייה. אנו משתמשים בטונגסטן באיכות גבוהה ובחומרי אטימה ברמה גבוהה, כדי שלא יהיו דליפות של גזים. כך נוצרת קרינת IR מרוכזת שפוגעת בשבב בדיוק בזמן הנכון.
אנו גם דואגים לבחור חומרים איכותיים בלבד. לא תמצאו בנורות אלו חומרי הדבקה זולים או ציפויים אורגניים. למה? כי חומרים אלו עלולים להישרף, וכאשר הם נשרפים, הם מזהמים את חדר הניקיון. כל חלק בנורה – החל מהמעטפת של הקוורץ ועד האלקטרודות – נבחר בקפידה, כדי שלא יהיו דליפות של גזים.
הפשרות בעולם האמיתי
נורות אלו חזקות מאוד, מה שאומר שהן נהיות חמות מאוד. לא רק השבב נהיה חם, אלא גם קצוות הנורה.
חשוב לבדוק את מערכות הקירור של הנורה. אם זרימת האוויר לא מספיקה, החום יצטבר בקצוות הנורה ועלול לפגוע בחוטים שלה עם הזמן. זו בעיה פשוטה לפתרון, אך היא חשובה מאוד.
אנו דואגים שהנורות יתאימו למסלולי הטיפול האוטומטיים. הן מתאימות בדיוק כמו נורות IR רגילות, אך הטוהר שלהן הוא שמונע את כישלון החיישנים.