על קו ה-200 מ"מ, שלב הייבוש לאחר הניקוי הוא המקום שבו סטיית טמפרטורה קטנה מתפתחת לכאב ממשי ביבול. לחות שארית וחימום לא אחיד מתבטאים כטיפות קצה, קריסת תבניות, ופגמים בחלקיקים—ואז המפעל משלם על תיקונים ופסולת. בנינו את מודול הייבוש של ופר 200 מ"מ כדי לחתוך את המשתנים מהמקור, ולא רק לזרוק חום על הבעיה.
מה חשוב, טכנית
המודול שומר על אחידות תרמית ברמת הוופר של ±0.1°C לאורך כל ה-200 מ"מ, כך שהתנהגות הפוטורזיסט נשארת עקבית ממרכז הוופר ועד לקצה במהלך האפייה הרכה והאפייה הקשה. התאמה לחדר נקי מתוכננת עבור כיתה 1–100, עם חומרים ודרכי זרימת אוויר שנבחרו לשמור על ייצור חלקיקים על אפס. חזרתיות אינה טענה—זה מתבטא ביציבות בין משמרות ובשמירה על נקודות הגדרה כאשר מתח הקו ועומס המערך משתנים. זה פועל 24/7 עם אמינות מכוונת לאפס זמן השבתה לא מתוכנן, ועושה זאת מבלי לחרוג מתקציב החום—שימוש באנרגיה נשלט, ולא מוגזם.
למה זה עובד בפועל
במרכזי ליתוגרפיה ובמסילות ציפוי/אפייה, הייבוש נכנס מבלי להכריח אותך לכתוב מחדש את המתכון. בקרת טמפרטורה הדוקה יותר משמעותה פחות חרגות, בקרת CD הדוקה יותר, ופחות פגמים לאחר האפייה שמובילים לתיקונים. זמני מחזור יורדים כי המודול מגיע לטמפרטורה במהירות ושומר עליה. עלות התפעול יורדת כי יציבות מפחיתה פסולת, תיקונים, וצריכת חלפים. התוצאה מתבטאת במקום שבו זה חשוב: תפוקה גבוהה יותר עם פחות הפסדים.
מה לתכנן
המודול מתאים לדפוסי כלים סטנדרטיים של 200 מ"מ, אך עדיין יש לאשר פרטי ממשק חדר נקי—כיווני פליטה, אספקת גז, וירידות שירות—נגד התוכנית שלך. זה עובד עם רוב בקרי המסילות, אך אישור מלא מצריך התאמה של פרוטוקול התקשורת והנעילות הבטיחותיות לציוד שלך. הקם את ריצת האישור סביב תערובת הפתרונות שלך וערמת הוופים; שם אחידות של ±0.1°C מפסיקה להיות מפרט והופכת להוכחה.