חלקי חילוף למנורות הליתוגרפיה של ASML

בחדר הייצור, הנורה לא נכשלת בזמן הנכון. היא גורמת לעצירת התהליך בדיוק ברגע הפחות מתאים, וכתוצאה מכך נפגעת איכות השכבות שנוצרות על הוופרים. הוופרים...