300 मिमी आकार के वेफरों पर, जब तापमान संबंधी पैरामीटर बदल जाते हैं, तो TSV स्टैकिंग प्रक्रिया विफल हो जाती है। वेफर पर मात्र एक डिग्री का अंतर ही वाया-पॉइंट्स को नष्ट कर सकता है, फोटोरेजिस्ट को बर्बाद कर सकता है, एवं एक महीने की मेहनत को व्यर्थ कर सकता है। इसलिए हीटर को नियमित तापमान ही प्रदान करना आवश्यक है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हमने TSV हीटर को शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों एवं क्वार्ट्ज-सिरेमिक सामग्री का उपयोग करके बनाया है; ऐसा इसलिए किया गया है ताकि कोई कण न बने। वेफर के पूरे व्यास पर तापमान की स्थिरता ±0.1°C है, एवं प्रत्येक बार तापमान की स्थिरता ±0.2°C है। यह सिस्टम क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी काम कर सकता है; यह 24/7 काम कर सकता है, एवं 5,000 घंटों तक काम करने के बाद भी तापमान में 5% से कम बदलाव होता है। तापमान 10°C/सेकंड की दर से बदलता है; इससे प्रक्रिया का समय कम हो जाता है, एवं तापमान संबंधी समस्याएँ भी नहीं होतीं।
यह TSV प्रसंस्करण में क्यों उपयोगी है?
TSV प्रसंस्करण में लिथोग्राफी, एचिंग, लाइनर लगाना, सीड लगाना, एवं इलेक्ट्रोप्लेटिंग जैसी प्रक्रियाएँ शामिल हैं; इन सभी प्रक्रियाओं में फोटोरेजिस्ट का उपयोग आवश्यक है। इसलिए हर बार एक ही तापमान स्थिति ही आवश्यक है – धीमा तापमान वाली प्रक्रिया से विलायक निकाला जाता है, उच्च तापमान वाली प्रक्रिया से मास्क को सुरक्षित रखा जाता है, एवं धीरे-धीरे तापमान कम करके वाया-पॉइंट्स की सुरक्षा की जाती है। हमारा हीटर हर बार वेफर को सही तापमान स्थिति पर ही रखता है। इससे क्रिटिकल डाइमेंशनों पर बेहतर नियंत्रण होता है, दोष कम होते हैं, एवं उत्पादन दर भी बेहतर होती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है – तापमान जल्दी ही वांछित स्थिति पर पहुँच जाता है, एवं वहाँ ही बना रहता है।
क्या आवश्यक है?
इस सिस्टम के लिए एक विशेष पावर बस एवं स्वच्छ गैस की आवश्यकता है। पुराने उपकरणों में इसे इस्तेमाल करने हेतु यांत्रिक उपकरणों एवं फर्मवेयर की आवश्यकता होती है। पूरे सिस्टम के लिए तापमान संबंधी पैरामीटरों की योजना आवश्यक है – हीटर, चक, एवं शील्ड सभी के लिए। इससे प्रक्रिया स्थिर रहती है।