लिथो-फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान 0.3°C का अंतर ही पर्याप्त है, जिससे उत्पादन प्रक्रिया में गड़बड़ियाँ हो सकती हैं। ऐसी स्थिति में स्थिरता हासिल करने की कोशिश बाद में करना व्यर्थ है… इसकी व्यवस्था शुरुआत में ही की जानी चाहिए।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमने ऐसा IR वोल्टेज रेगुलेटर विकसित किया है, जिसका उपयोग उन इन्फ्रारेड हीटिंग उपकरणों में किया जा सकता है, जहाँ तापमान की समानता ही लक्ष्य नहीं है… बल्कि यही उन उपकरणों की विशेषता है। यह रेगुलेटर स्थिर एवं कम-वॉटरफॉल वाला आउटपुट देता है; इससे हैलोजन एवं क्वार्ट्ज आधारित IR स्रोतों से निकलने वाली ऊर्जा स्थिर रहती है… इस प्रकार वेफर की सतह पर तापमान की समानता ±0.1°C के भीतर ही रहती है।
कंट्रोल प्रणाली ऐसी है कि यह जल्दी ही संतुलन हासिल कर लेती है… इससे “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ बिना किसी समायोजन के ही दोहराई जा सकती हैं। क्लीनरूम के लिए भी यह रेगुलेटर उपयुक्त है… क्योंकि इसमें कम गैस निकलती है, एवं इसका डिज़ाइन ऐसा है कि कोई कण भी नहीं बनता।
उत्पादन में यह क्यों कारगर है?
व्यवहार में, रेजिस्ट प्रोफाइल स्थिर ही रहता है… कोई गड़बड़ी नहीं होती। प्रक्रिया के दौरान तापमान संतुलन बना रहता है… क्योंकि कंट्रोलर की गड़बड़ियों या लैंपों के खराब होने के कारण ऊर्जा की बर्बादी नहीं होती। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि रेगुलेटर अनावश्यक ऊर्जा खपत को रोक देता है।
इससे लैंपों को बदलने की आवश्यकता कम हो जाती है… रखरखाव का काम भी कम हो जाता है… एवं उत्पादन प्रक्रिया 24/7 चलती रहती है। इसके परिणामस्वरूप उत्पादन दर बढ़ जाती है… एवं उच्च-मिश्रण वाले उत्पादनों में भी कोई रुकावट नहीं आती।
योजना बनाते समय किन बातों पर ध्यान देना आवश्यक है?
रेगुलेटर को उचित लैंप एवं ऑप्टिकल सिस्टम के साथ ही इस्तेमाल किया जाना चाहिए… अन्यथा तापमान संतुलन बना नहीं रहेगा। इंस्टॉलेशन के लिए भी विशेष व्यवस्था आवश्यक है… क्योंकि फैक्ट्री में वोल्टेज में होने वाले उतार-चढ़ाव से भी समस्याएँ हो सकती हैं। इंटीग्रेशन की योजना पहले ही बना लेनी चाहिए… ताकि रेगुलेटर शांत एवं स्थिर रूप से ही काम कर सके।