Mempertahankan Kebersihan Wafer Saat Proses Pengeringan (dan Meningkatkan Tingkat Hasil Produksi)
Ketika Anda mengeringkan wafer sensor MEMS di ruang bersih kelas 100, Anda tidak boleh membiarkan hal-hal yang tidak diinginkan terjadi. Sebuah serpihan kecil dari bahan tersebut atau emisi gas dari sumber panas dapat merusak wafer tersebut. Hal ini tentu sangat mengganggu.
Itulah sebabnya kami menggunakan lampu IR berbahan kuarsa berkualitas tinggi.
Mengapa Kuarsa Sangat Penting
Bahan kaca biasa atau bahan murahan tidak akan tahan terhadap kondisi suhu tinggi. Pada suhu tinggi, bahan-bahan tersebut bisa melepaskan kotoran berupa logam. Lebih buruk lagi, bahan tersebut bisa retak atau terjadi “debu” saat suhu berubah secara cepat. Tidak ada yang ingin hal tersebut terjadi.
Kami menggunakan kuarsa berkualitas tinggi karena bahan ini mampu menangani perubahan suhu dengan baik. Selain itu, karena radiasi IR yang dihasilkan, panas tersebut dapat menembus kelembapan pada wafer dan menguapkannya secara instan. Tidak perlu menyentuh atau menggosok wafer tersebut, sehingga tidak akan ada goresan mekanis sama sekali.
Meminimalkan Kotoran
Untuk mendapatkan daya yang diperlukan agar proses pengeringan berjalan cepat, hal penting adalah komponen-komponen yang ada di dalam lampu tersebut. Kami menggunakan tungsten berkualitas tinggi serta sistem penyegelan vakum yang baik agar gas tidak bocor keluar. Dengan demikian, radiasi IR yang dihasilkan akan langsung mengenai wafer pada saat yang tepat.
Kami juga sangat selektif dalam memilih komponen-komponen tambahan. Anda tidak akan menemukan bahan perekat atau lapisan organik di lampu-lampu ini. Mengapa? Karena bahan-bahan tersebut akan terbakar, dan saat terbakar, bahan-bahan tersebut akan mencemari ruang bersih tersebut. Setiap komponen—mulai dari pembungkus kuarsa hingga elektroda—dipilih karena tidak mengeluarkan gas sama sekali.
Kompromi yang Harus Diterima
Lampu-lampu ini memang sangat kuat, sehingga suhunya pun tinggi. Bukan hanya pada wafer, tetapi juga pada ujung-ujung lampu tersebut. Anda perlu memastikan bahwa sistem pendinginan berfungsi dengan baik. Jika aliran udara terlalu lemah, panas akan menumpuk di bagian soket lampu, sehingga dapat merusak kabel-kabel tersebut seiring waktu. Ini merupakan masalah yang mudah diatasi, tetapi sangat penting untuk diperhatikan.
Kami memastikan bahwa ukuran lampu ini sesuai dengan jalur pengolahan otomatis, sehingga lampu ini dapat dipasang dengan mudah. Ukurannya mirip dengan array IR biasa, tetapi kualitasnya yang membuat sensor-sensor Anda tidak gagal dalam proses inspeksi.