Hentikan kebiasaan membiarkan lampu yang rusak merusak kualitas wafer yang dihasilkan.
Dalam jalur produksi semikonduktor yang beban kerjanya tinggi, rusaknya satu buah lampu saja sudah merupakan masalah besar. Bukan hanya soal waktu henti produksi saja, tetapi juga kekacauan yang ditimbulkannya.
Ketika lampu rusak, pecahan kaca dan oksida logam akan berceceran di permukaan wafer. Kontaminasi semacam ini tidak hanya merusak satu wafer saja, tetapi juga bisa merusak seluruh batch wafer tersebut. Ini merupakan masalah yang mahal dan merepotkan.
Kami memutuskan untuk mengatasi hal ini dengan merancang ulang cara pembuatan lampu inframerah tersebut.
Masalah kabel
Kabel biasa tidak mampu menahan siklus pemanasan dan pendinginan yang terus-menerus pada heater semikonduktor. Kabel-kabel tersebut akan rusak. Kami menggunakan lapisan Teflon (PTFE) berkualitas tinggi untuk kabel-kabel tersebut. Mengapa? Karena Teflon tidak mengeluarkan gas atau meleleh saat terkena panas. Jika lapisan isolasi kabel meleleh, maka akan ada kontaminan organik di permukaan wafer. Jika kabelnya rusak, maka akan terjadi korsleting. Teflon tetap stabil, dan itulah yang dibutuhkan dari sebuah kabel.
Mempertahankan integritas kaca
Rusaknya lampu umumnya disebabkan oleh guncangan termal atau sambungan yang lemah antara kaca dan elektroda. Kami memperkuat sambungan tersebut agar udara tidak masuk. Dengan demikian, filamen tungsten tidak akan teroksidasi terlalu cepat, sehingga lampu dapat bertahan lebih lama.
Tapi mari kita realistis: tidak ada yang benar-benar tahan terhadap segala kondisi. Itulah sebabnya kami menambahkan pelindung tambahan. Pelindung ini mungkin sedikit menghambat transmisi gelombang inframerah, tetapi bisa melindungi wafer dari pecahan kaca yang terlepas akibat kerusakan lampu. Anda mungkin kehilangan sedikit panas, tetapi wafer Anda akan selamat. Itulah kompromi yang saya rela lakukan setiap kali.
Perhatikan densitas panasnya
Lampu berdaya tinggi memang cocok untuk proses pemrosesan yang membutuhkan suhu tinggi. Namun, panas yang tinggi tersebut memberikan tekanan besar pada kaca lampu.
Berikut tipsnya: periksa sistem pendinginan dengan teliti. Jika aliran udara terlalu rendah, ujung-ujung lampu akan overheat dan rusak lebih cepat dari yang seharusnya.
Yang terbaik adalah menggunakan lampu pengganti yang mudah dipasang. Anda tidak perlu merekonstruksi peralatan Anda. Cukup periksa tegangan dan dayanya, sambungkan kabelnya, kalibrasikan piranometer, dan Anda siap untuk melanjutkan produksi.