Nelle linee di produzione, si sa bene come funzionano le cose: una variazione di 0,5°C nella temperatura di cottura può causare modifiche nelle dimensioni critiche dei componenti, con conseguente produzione di materiale scartato. Quello che serve è un sistema di riscaldamento affidabile, ciclo dopo ciclo, anche quando ci sono condizioni particolari legate all’ambiente di lavoro, alla geometria dei wafer e ai tempi di lavorazione richiesti dalla litografia.
Cosa è importante nel sistema di riscaldamento
Abbiamo progettato il sistema utilizzando sorgenti a infrarosso vicino (NIR), dotate di una risposta spettrale precisa. In questo modo si ottiene un riscaldamento rapido e senza contatto diretto con i componenti da riscaldare. L’uniformità termica su tutta la superficie del wafer rimane entro ±0,1°C, mentre la precisione delle impostazioni di riscaldamento è altrettanto elevata. Il sistema è adatto per ambienti di tipo 1–100, e la zona di riscaldamento riduce al minimo la generazione di particelle. I profili di riscaldamento permettono un controllo preciso della temperatura, mantenendo così costanti le dimensioni dei componenti e riducendo i difetti produttivi.
Perché questo è utile nella litografia
Nelle linee di litografia, l’uso dell’infrarosso permette un avvio rapido del processo e una bassa inerzia termica. Ciò riduce i tempi di cambio processo e mantiene alta la produttività. La piattaforma può funzionare 24/7 senza interruzioni impreviste; inoltre, il consumo energetico è ridotto grazie a un collegamento efficiente tra i vari componenti e a una minima perdita energetica in modalità di standby. Si ottiene così un controllo preciso delle dimensioni critiche dei componenti, meno necessità di rifiniture e un comportamento prevedibile in termini di resa produttiva, senza dover modificare le procedure di produzione esistenti.
Cosa bisogna considerare durante l’installazione
Durante l’installazione è necessario abbinare correttamente gli elementi di evacuazione degli gas, l’alimentazione di gas e le interfacce necessarie per il funzionamento della linea di produzione. Noi forniamo i disegni tecnici necessari e ci occupiamo anche della messa in funzione del sistema. Poiché l’infrarosso riscalda direttamente i componenti, le differenze di emissività tra i vari materiali possono influenzare il funzionamento del sistema. Il controller compensa queste differenze, ma è comunque necessario regolare le impostazioni per adattarsi ai nuovi materiali da lavorare. Basta effettuare una prova di funzionamento per stabilire la curva di riscaldamento ideale; successivamente il sistema diventa affidabile e conforme agli standard richiesti.