Smettete di permettere che le lampade difettose rovinino la qualità dei vostri wafer.
In una linea di produzione di semiconduttori ad alta intensità, il guasto di una sola lampada rappresenta un vero disastro. Non si tratta soltanto di tempi di fermo della macchina: c’è anche il problema della contaminazione causata dai frammenti di quarzo e dagli ossidi metallici generati dal guasto della lampada. Questa contaminazione può distruggere intere serie di wafer. È un problema costoso e frustrante.
Abbiamo deciso di risolvere questo problema rivedendo il modo in cui costruiamo le nostre lampade a infrarossi.
Il problema dei cavi elettrici
La maggior parte dei cavi standard non riesce a resistere ai cicli continui di riscaldamento e raffreddamento delle lampade a semiconduttori. Per questo motivo, tali cavi finiscono per rompersi. Noi utilizziamo invece rivestimenti in Teflon di alta qualità per i cavi elettrici. Perché? Perché il Teflon non emette gas né si fonde. Se l’isolante si scioglie, sui wafer si formano contaminanti organici; se invece il cavo si rompe, si verificano cortocircuiti. Il Teflon, invece, rimane intatto. È perfetto per i cavi elettrici.
Mantenere intatto il vetro della lampada
La maggior parte dei guasti avviene a causa dello shock termico o di una tenuta insufficiente tra il quarzo e gli elettrodi. Abbiamo quindi rinforzato questa tenuta per impedire all’aria di penetrare all’interno della lampada. In questo modo, il filamento di tungsteno non si ossida troppo presto, permettendo così alla lampada di funzionare per più tempo.
Ma bisogna essere realistici: niente è al 100% sicuro. Ecco perché aggiungiamo dei rivestimenti protettivi. Anche se questi rivestimenti possono ridurre leggermente la trasmissione degli infrarossi, riescono comunque a trattenere i frammenti generati in caso di guasto della lampada. Si perde una piccola percentuale di calore, ma i wafer vengono salvati. È un compromesso che accetto volentieri ogni volta.
Fate attenzione alla densità termica
Le lampade ad alta potenza sono ottime per i processi termici veloci, ma tanta energia termica mette molta pressione sul quarzo. Un consiglio: controllate bene il sistema di raffreddamento. Se il flusso d’aria è troppo basso, le estremità della lampada si surriscalderanno e si bruceranno prima del tempo.
La parte migliore è che queste lampade possono essere sostituite facilmente. Non è necessario riparare tutta la struttura della macchina. Basta verificare la tensione e la potenza, collegare i cavi, calibrare il pirometro… e si può tornare subito al lavoro.