無駄なエネルギーの消費を止めましょう
シリコンウェーハを加熱する際、1ワットというエネルギーも無駄にしてはいけません。
問題は、一般的なIR放射体はエネルギーをあらゆる方向に放出してしまうことです。つまり、エネルギーの半分がウェーハではなく、装置の筐体を温めているだけです。これは明らかな無駄遣いです。
この問題を解決するために、金でコーティングされた反射板や高純度のセラミック製のエンドキャップを使用します。これにより、すべてのエネルギーが正確に目的の場所、つまり直接ウェーハに向かうようになります。
なぜ金を使うのか？
それは、赤外線の波長を効果的に反射できるからです。
薄い金膜を使用する理由は、アルミニウムとは異なり、金は高温になっても酸化しないからです。数百年使用しても「曇り」が発生することはありません。常にクリアな状態が保たれます。
その結果、ウェーハ表面により強力な熱が与えられますが、電気代は変わりません。
見過ごされがちな重要な要素：セラミック製のエンドキャップ
これらは、石英管と電気配線をつなぐ役割を果たします。極端な温度変化にも耐えられるように設計されています。
これにより、電気の放電を防ぎ、放射体が正しい位置に固定されます。これは非常に重要です。もし位置が数ミリでもずれると、ウェーハに「ホットスポット」ができてしまいます。そして、ホットスポットがあると部品がダメになってしまいます。誰もそれを望みません。
注意すべき点
この装置は非常に強力です。そのため、加熱にかかる時間が大幅に短縮され、生産性が向上します。
しかし、注意点もあります。集中した熱により、冷却装置に大きな負担がかかります。もし冷却機能が不十分だと、反射板が変形してしまう可能性があります。必ずチェックしてください。
これらの装置は、クリーンルームでそのまま使用できるように設計されています。既存の電源に直接接続できます。ただし、PIDコントローラーの設定を調整して、より迅速な反応が得られるようにしてください。
最後に、金は柔らかい材料です。効率を重視するなら、反射板に研磨剤を使わないでください。フィルムが傷つくと、効果が失われてしまいます。