クラス100のクリーンルームを常に清潔に保つために
クラス100の環境下でグローブボックスを加熱するとき、実際には見えない敵と戦っていることになります。単に一定の温度に達させるだけでは不十分で、目に見えない微粒子の問題も考慮しなければなりません。 ほとんどの一般的な加熱素子は、このような状況では役立ちません。これらはガスや微小な粒子を放出し、半導体ウェハーを破壊したり、電池の電解液を悪影響を与えたりします。わずかな汚れでも、生産された製品全体が台無しになってしまいます。 そのため、私たちはIRランプに高純度の合成石英を使用しています。
材料について
私たちは溶融シリカ石英を使用しています。なぜなら、この材料は熱に強いからです。普通のガラスは高温になると分解してしまいますが、この材料は化学的に安定しています。 つまり、粒子が飛び散ったり、異物が制御された環境に混入したりする心配はありません。石英管はタングステンフィラメントを密閉しておくので、汚れが中に入らないようにしてくれます。
力と熱
グローブボックス内の温度を素早く上げたい場合、狭い空間で多くの熱を得る必要があります。私たちは、強力なパワーを発揮するランプを作っています。 より多くの電力を短い管を通じて供給することで、表面温度が急速に上昇します。これにより、深く速く浸透する短波長のIR光が得られます。 ただし、注意点があります。これらの高密度ランプは多くの電力を消費します。変圧器がその瞬間の急激な電流に耐えられるか確認してください。運転を始めたばかりの時にヒューズが切れるのは避けたいものです。
設置について
コネクタは標準化されているため、既存の装置に簡単に取り付けることができます。カスタムメイドのグローブボックスを使っている場合でも、完全な生産ラインを使っている場合でも、問題なく適合します。 また、石英の表面の微細な欠陥を取り除くために研磨も行います。なぜかというと、そこがほこりが隠れやすい場所だからです。 結局のところ、これは単純な選択です。高純度の材料に少し多くの費用をかけることで、後で汚染された製品のコストを負担することがありません。これは、より清潔な物理現象を利用しているに過ぎません。