もう、ランプの破損によってウェーハの歩留まりが低下するのを放置しないでください。
高負荷な半導体製造ラインでは、1つのランプが壊れるだけでも大変な問題です。単に停止時間が長くなるというだけではありません。むしろ、混乱が生じます。
ランプが破損すると、石英の破片や金属酸化物がウェーハに飛び散ります。このような二次的な汚染は、1つのウェーハだけを損なうだけでなく、一括しての廃棄につながる可能性もあります。これは非常にコストがかかり、厄介な問題です。
そこで私たちは、赤外線ランプの構造を見直すことでこの問題を解決しようとしました。
配線の問題
一般的な配線では、半導体ヒーターの繰り返される加熱・冷却のサイクルに耐えられません。結果として故障してしまいます。
そのため、私たちは高品質なテフロン（PTFE）コーティングを配線に使用しています。なぜかというと、テフロンはガスを発生させず、また筐体に溶着することもないからです。もし絶縁体が溶けてしまうと、ウェーハに有機物が付着してしまいます。テフロンなら、そのままの状態を維持します。これは単純ですが、まさに配線に求められる特性です。
ガラスの保護
ほとんどの場合、ランプの破損は熱衝撃や、石英と電極の接続部の弱さが原因です。私たちはその接続部分を強化し、空気の侵入を防ぎました。これにより、タングステンフィラメントが早期に酸化するのを防ぎ、ランプの寿命が延びます。
しかし、実際には完全に安全というわけではありません。
そのため、私たちは保護シールドを追加しました。これにより、わずかなIR光の漏れは防げますが、万が一ランプが壊れても破片を防ぐことができます。わずかな熱量が失われるかもしれませんが、ウェーハを守ることができます。これは、私が毎回選ぶ選択肢です。
熱密度に注意してください
高ワット数のランプは、急速な熱処理が必要な場合には便利です。しかし、その分、石英に大きな負荷がかかります。
ひとつアドバイスとして、冷却装置をしっかりチェックしてください。もし空気の流れが不十分だと、ランプの端が過熱してしまい、本来の寿命より早く壊れてしまいます。
最良の点は、これらのランプはそのまま交換可能だということです。装置を再構築する必要はありません。電圧やワット数を確認し、配線を接続し、温度計を校正すれば、すぐに再利用できます。