ASMLリソグラフィーランプのスペア部品

製造ライン上では、ランプが予定通りに動かないこともあります。思いがけないタイミングでラインが停止してしまい、それによってフォトレジストの硬化処理に影響が出ます。その結果、ウェーハの品質が悪化し、根本的な原因を突き止める前に廃棄されてしまいます。 私たちは、ASMLのリソグラフィー用ランプのスペア部...