클래스 100 등급의 청정실을 계속해서 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 환경에서 글러브박스를 가열할 때는 보이지 않는 문제들과 싸워야 합니다. 단순히 특정 온도에 도달하는 것만으로는 충분하지 않습니다. 보이지 않는 미세한 입자들도 문제가 됩니다.
대부분의 일반적인 가열 요소들은 이런 상황에서 큰 문제가 됩니다. 이러한 요소들은 가스를 방출하거나 미세한 입자들을 배출하는데, 이로 인해 반도체 웨이퍼가 손상되거나 배터리의 전해질이 망가질 수 있습니다. 단 한 개의 미세한 입자만 있어도 전체 제품이 망가질 수 있습니다.
그래서 우리는 적외선 램프에 고순도의 합성 석영을 사용합니다.
재료에 대하여
우리는 융합된 실리카 석영을 사용합니다. 왜냐하면 이 재료가 열을 더 잘 견딜 수 있기 때문입니다. 일반적인 유리는 열이 가해지면 파괴될 수 있지만, 이 석영은 화학적으로 안정적입니다. 따라서 제어된 환경 내로 미세한 입자나 이상한 화학물질이 들어오는 것을 걱정할 필요가 없습니다. 석영 튜브는 텅스텐 필라멘트 주위를 완벽하게 밀폐시켜서 오염물질이 밖으로 나가는 것을 막습니다.
전력과 열
글러브박스 내부의 온도를 빠르게 높이고 싶다면, 작은 공간 안에 많은 열이 필요합니다. 우리는 강력한 성능을 자랑하는 램프를 만듭니다. 짧은 튜브를 통해 더 많은 전력을 공급함으로써 표면 온도가 빠르게 상승합니다. 이렇게 하면 짧은 파장의 적외선이 빠르게 전달됩니다.
단, 주의해야 할 점은 이러한 고밀도 램프는 많은 전력을 소모한다는 것입니다. 변압기가 초기에 발생하는 큰 전류를 감당할 수 있는지 확인해야 합니다. 작업을 시작할 때 퓨즈가 나가는 것은 정말 곤란한 일입니다.
설치 방법
우리는 커넥터를 표준화하여, 기존 장비에도 쉽게 연결할 수 있도록 했습니다. 맞춤형 글러브박스를 사용하든, 전체 생산 라인을 운영하든, 이 램프들은 모두 잘 맞습니다. 또한 석영의 표면에 있는 미세한 결함들을 제거하기 위해 세척도 합니다. 왜냐하면 그곳에 먼지가 숨어있기 때문입니다.
결국, 이건 간단한 선택일 뿐입니다. 조금 더 많은 비용을 들여 고순도의 재료를 사용한다면, 나중에 오염된 제품으로 인한 손해를 피할 수 있습니다. 이것이 바로 더 깨끗한 물리학의 원리입니다.