불꽃이 튀는 현상으로 인해 웨이퍼의 품질이 저하되는 것을 막아야 합니다.
고부하가 요구되는 반도체 생산 라인에서는 단 한 개의 램프가 고장 나는 것만으로도 큰 문제가 됩니다. 단순히 가동 중단 문제뿐만 아니라, 혼란도 발생합니다.
램프가 폭발하면 석영 조각과 금속 산화물들이 웨이퍼 위로 흩뿌려집니다. 이러한 2차 오염은 단 한 개의 웨이퍼를 망치는 것에 그치지 않고, 전체 웨이퍼들을 망칠 수도 있습니다. 이는 매우 비용이 많이 드는 문제입니다.
우리는 적외선 램프의 구조를 재설계함으로써 이 문제를 해결하기로 결정했습니다.
배선 문제
일반적인 배선들은 반도체 히터의 지속적인 가열과 냉각 과정을 견뎌내지 못합니다. 그래서 고장이 발생합니다.
우리는 대신 고급 등급의 테플론(PTFE) 코팅을 사용합니다. 왜일까요? 테플론은 가스를 방출하지도 않으며, 하우징에 붙지도 않습니다. 만약 절연체가 녹으면 웨이퍼에 유기물 오염이 생깁니다. 테플론은 그대로 유지됩니다. 이게 바로 배선에 필요한 특성입니다.
유리 벽의 손상 방지
대부분의 경우, 열충격이나 석영과 전극 사이의 밀폐성이 약해서 램프가 파손됩니다. 우리는 그 부분을 강화하여 공기가 들어오지 않도록 했습니다. 이렇게 하면 텅스텐 필라멘트가 너무 일찍 산화되는 것을 막아 램프의 수명을 연장할 수 있습니다.
하지만 현실적으로는 100% 안전한 방법은 없습니다. 그래서 우리는 보호용 커버를 추가했습니다. 이 커버는 적외선의 일부를 차단할 수는 있지만, 램프가 폭발했을 때 발생하는 파편들을 막아줍니다. 약간의 열손실은 있겠지만, 웨이퍼를 보호할 수 있다면 그만한 가치가 있습니다.
열 밀도에 주의하세요
고와트수의 램프는 빠른 열 처리를 위해 유용하지만, 너무 많은 열이 석영에 부담을 줍니다.
팁: 냉각 시스템을 꼼꼼히 확인해보세요. 공기 흐름이 너무 약하면 램프의 끝부분이 과열되어 예상보다 빨리 고장날 수 있습니다.
좋은 점은, 이 램프들은 그대로 교체할 수 있다는 것입니다. 별도의 설치 작업이 필요하지 않습니다. 단지 전압과 와트수를 확인하고, 배선을 연결하고, 온도 측정 장비를 조절하면 바로 사용할 수 있습니다.