적외선 가열과 강제 공기 순환: 웨이퍼 처리에는 어떤 방식이 더 효과적일까? 웨이퍼 처리에 있어서 고온 공기 대신 적외선을 사용하고 싶다면, “더 나은” 열원을 찾는 것보다는 그 에너지를 실리콘 표면에 어떻게 전달할지가 더 중요합니다. 강제 공기 순환 방식의 경우,...

생산 현장에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 중단 시점이 아니라, 오히려 작업의 핵심적인 단계입니다. 온도가 변동하면 CD 제어 시스템도 제대로 작동하지 않습니다. 램프가 꺼지면 생산 라인도 멈추게 됩니다. 우리는 어플라이드 마테리얼즈의 장비들이 이러한 불확...

공정 현장에서 포토레지스트 베이크 중 2°C의 온도 차는 대량의 제품을 폐기할 수 있다. 추측만으로는 수율에 변화가 없다. 변수 하나가 아니라 고정된 상수처럼 작동하는 온도 제어가 필요하다. 적외선 가열: 서브밀리미터 균일도와 반복성 우리는 안정적인 NIR 방출 프로...