Op de productielocatie is het allemaal bekend: een afwijking van 0,5°C in de baktemperatuur kan er toe leiden dat cruciale dimensies met nanometers veranderen, waardoor veel producten niet meer bruikbaar zijn. Wat nodig is, is een constante temperatuur, cycle na cycle – zelfs onder invloed van de luchtstroom in de schone ruimte, de geometrie van de wafers en de regels rondom de lithografieprocessen.
Wat belangrijk is achter de schermen We hebben het systeem ontworpen met behulp van nabije-infrarode (NIR-)bronnen met een gecontroleerd spectraal profiel. Hierdoor wordt er snel en zonder contact verwarming bereikt. Over het hele oppervlak van de wafel blijft de thermische uniformiteit binnen ±0,1°C. De nauwkeurigheid van de instellingen ligt ook binnen dit bereik. Het systeem past zich aan aan alle normen voor schone ruimtes van klasse 1 tot 100. De verwarmingszone zorgt er bovendien voor dat er nauwelijks deeltjes worden geproduceerd. Zowel zachte als harde bakprocedures kunnen worden uitgevoerd met een nauwkeurige controle van de temperatuur, waardoor de dikte van de lagen consistent blijft en defecten worden verminderd.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie In lithografielines zorgt infraroodlicht voor een snelle opwarming en een lage thermische inertie. Dit verkort de tijd die nodig is om van het ene product naar het andere over te stappen, waardoor de productiecontinuïteit behouden blijft. Het systeem kan 24/7 draaien, zonder onverwachte stilstandsperioden. Bovendien neemt het energieverbruik af dankzij efficiënte couplings en minimale standbyverliezen. Hierdoor wordt de controle over de cruciale dimensies beter, zijn er minder producten die opnieuw moeten worden verwerkt, en is het resultaat voorspelbaarder – zonder dat de bestaande procesregels hoeven te worden veranderd.
Wat je moet meenemen in de planning Voor de installatie moet rekening worden gehouden met de ventilatie, de toevoer van gassen en de verbindingen met de benodigde apparatuur. Wij leveren de benodigde technische tekeningen en zorgen voor de inbedrijfstelling. Omdat infraroodlicht rechtstreeks verwarming geeft, kunnen verschillen in emissiviteit van verschillende materialen invloed hebben op de lokale temperatuur. De controller compenseert dit, maar het is nog steeds nodig om de parameters aan te passen voor nieuwe combinaties van materialen. Eén keer testing is voldoende om de optimale bakcurve vast te stellen. Daarna heeft je een gevalideerd systeem dat voldoet aan alle standaarden.