Houd je wafer’s schoon terwijl je ze droogt (en houd je opbrengst hoog)
Wanneer je MEMS-sensorwafer’s droogt in een klasse-100 schone ruimte, kun je geen enkele onverwachte situatie riskeren. Eén klein stukje materiaal of wat uitstoot van de warmtebron kan al zorgen voor grote problemen. Dat is frustrerend.
Daarom gebruiken we IR-lampen gemaakt van hoogzuiver kwarts.
Waarom kwarts belangrijk is
Standaard glas of goedkope alternatieven zijn niet geschikt. Bij hoge temperaturen kunnen er metalen onzuiverheden vrijkomen. Nog erger: het glas kan barsten of ‘stofvrij’ worden wanneer de temperatuur snel verandert. Niemand wil dat.
We gebruiken hoogzuiver kwarts omdat dit materiaal goed kan omgaan met thermische schokken. Bovendien dringt het IR-straling door het vocht op de wafer heen en verdampt dit onmiddellijk. Er is geen noodzaak om de wafer aan te raken of te wrijven; er ontstaan ook geen mechanische krassen.
Het vermijden van ongewenste elementen
Om de benodigde hoeveelheid warmte te verkrijgen, is het belangrijk om te weten wat zich binnenin de lamp bevindt. We gebruiken hoogwaardig tungstен en vacuümemballages om te voorkomen dat er gasen ontsnappen. Hierdoor wordt er een concentratie van kortegolflengte-IR-straling gegenereerd die precies op het juiste moment op de wafer terechtkomt.
We zijn zeer kieskeurig wat betreft de ‘extra’s’. Je vindt geen goedkope lijmstoffen of organische coatings in deze lampen. Waarom? Omdat deze stoffen kunnen branden en daardoor je schone ruimte vervuilen. Elk onderdeel – van de kwartsomhulling tot de elektroden – wordt zorgvuldig geselecteerd, zodat er geen onzuiverheden vrijkomen. Punt.
De praktische nadelen
Deze lampen zijn krachtig, waardoor ze erg heet worden. Niet alleen op de wafer, maar ook aan de uiteinden van de lamp. Het is belangrijk om je koelsystemen goed te controleren. Als de luchtcirculatie te zwak is, zal de hitte zich ophopen en zal dit op den duur schade veroorzaken aan de bedrading. Het is een eenvoudige oplossing, maar wel cruciaal.
We hebben de afmetingen van de lampen zo gekozen dat ze gemakkelijk in je geautomatiseerde handlingssystemen passen. Ze passen net zoals standaard IR-lampen, maar de hoge zuiverheid zorgt ervoor dat je sensoren geen problemen krijgen tijdens het testen.