Op de fabvloer is een drift van 0,3°C tijdens het bakken van de photoresist voldoende om een groot aantal producten als afval te classificeren. U bent al bezig met het optimaliseren van CD-uniformiteit, resistprofiel en partikelgehalte, en thermische variabiliteit blijft de opbrengst en de uptime negatief beïnvloeden. We hebben de laserdiode-verwarming ontwikkeld om die drift bij de bron te elimineren.
Technisch gezien van belang
De unit combineert een laserdiodebron met een ontworpen thermische stapel om een wafer-niveau uniformiteit van ±0,1°C te realiseren over het bakoppervlak. De reactietijd is minder dan 300 ms, waardoor de temperatuur snel stabiliseert na het openen en sluiten van de deur, en de herhaalbaarheid tussen cycli blijft binnen ±0,05°C. De verwarmingsbehuizing is gemaakt van kwarts en keramiek van hoge zuiverheid, zonder bindmiddel dat uitgast, en hij werkt schoon in klasse 1–100 omgevingen, waarbij de partikeltelling onder de 0,1 deeltje/cm² blijft. Het systeem werkt in closed-loop, met een gekalibreerde sensor die over meerdere zones uitgemeten is, zodat u receptgestuurde compensatie voor rand-effecten kunt toepassen.
Dit is waarom het geschikt is voor lithografie. Soft bake en hard bake bepalen de viscositeit van de resist, de hechting en de kritische dimensie. Wanneer het thermisch budget stabiel blijft, resulteert dat in een kleinere spreiding van de CD, minder herbewerkingen en minder afval veroorzaakt door doorgedrukte features of voetvorming.
Dezelfde stabiliteit reduceert ongeplande stilstanden—geen foutmeldingen meer van de bakplaat, geen wachttijd tot de plaat weer is gestabiliseerd. Ook daalt het energieverbruik, omdat de snelle stabilisatie en strakke regeling overshoot en onnodige warmte-uitstoot voorkomen.
En als u verpakkingslijnen hebt die afhankelijk zijn van gecontroleerde verwarming voor die-attach voorbereiding, dan zorgt de herhaalbaarheid ook daar direct voor minder poriën en hoger slagingspercentage bij eerste montage.
Enkele praktische opmerkingen voordat u het gaat specificeren: de heater werkt met standaard interfaces van machines, maar de thermische kaart moet tijdens de installatie worden afgestemd op de plaatgeometrie en sensorlokaties. Reken op een korte inregelperiode om zone-offsets en receptlimieten precies vast te leggen.
De optiek heeft een schone, droge lucht- of stikstofstroom nodig om het uitgangsvermogen stabiel te houden. Behandel het venster als een verbruiksartikel en plan vervangingsintervallen in uw preventief onderhoud.