W procesie obróbki krzemowych płytek szklanych nie ma miejsca na błędy termiczne. Jeśli temperatura podczas procesu ogrzewania odbiega choćby o 0,5°C od wartości zamierzonej, to trzeba zmagać się z zmiennością grubości warstwy fotorezystu. Natomiast bez dokładnego kontrolowania temperatury istnieje ryzyko uszkodzenia struktury płytki. Aby skutecznie kontrolować parametry termiczne, jedynym rozwiązaniem są systemy lamp infraczerwonych.
Co jest istotne pod względem technicznym Stworzyliśmy lampy infraczerwone o krótkiej długości fali specjalnie do obróbki płytek szklanych. Ich spektrum emisji jest dostosowane tak, aby odpowiadało charakterystykom absorpcji ciepła przez płytkę, a one same szybko reagują na zmiany temperatury. W całej strefie obróbki jednorodność temperatury wynosi ±0,1°C, a powtarzalność procesu zapewnia stałą wartość Cp/Cpk nawet przy ciągłym użytkowaniu. Urządzenie nadaje się do pracy w środowiskach klasy 1–100, a brak cząstek jest potwierdzany dzięki monitorowaniu ich obecności w czasie rzeczywistym. Intensywność światła pozostaje stała przez ponad 5 000 godzin, a odchylenia nie przekraczają 5%.
Dlaczego to jest ważne w litografii W liniami litograficznych oznacza to konsekwentne utrzymanie odpowiednich warunków podczas procesu ogrzewania płytek szklanych, lepszą kontrolę wielkości struktury na płytkach oraz mniejszą liczbę wad. Dzięki temu szybciej osiąga się pożądaną temperaturę, zużywa się mniej energii na każdą partię produktów, a liczba bezużytecznych płytek jest mniejsza. Urządzenie obsługuje standardowe formaty płytek i może być używane w istniejących systemach obliczania grubości warstwy i jej obróbki, dzięki czemu proces produkcji pozostaje niesprzerwany, a jednocześnie poprawiają się parametry termiczne.
Na co należy zwrócić uwagę podczas instalacji Instalacja wymaga precyzyjnego ustawienia optycznego oraz efektywnego systemu sterowania temperaturą. Jeśli chłodzenie nie będzie odpowiednie lub geometria reflektora nie będzie prawidłowa, jednorodność temperatury zostanie naruszona. Intensywność światła lampy jest wrażliwa na stabilność linii dostaw energii, więc konieczny jest czysty i stabilny zasilacz. Oczekiwać można nieco większego czasu na kalibrację, ale po tym procesie wszystko działa prawidłowo, co redukuje przerwy w produkcji i eliminuje konieczność interwencji konserwacyjnych.