W przypadku linii o długości 300 mm, procedura układania elementów TSV nie funkcjonuje prawidłowo, gdy występują zmiany w profilu termicznym. Jeden stopień różnicy temperatur na powierzchni płytki wystarczy, aby powstały pęknięcia, uszkodził się fotooporność, a cała praca wykonywana przez miesiąc poszła na marne. Podgrzewacz musi dostarczać spójną ilość ciepła – a nie tylko samą energię cieplną.
Co jest istotne pod względem technicznym
Stworzyliśmy podgrzewacz TSV na bazie elementów podczerwieni krótkofalowej oraz konstrukcji z kwarcu i ceramiki, aby uniknąć powstawania cząsteczek. Równomierność temperatury na powierzchni płytki wynosi ±0,1°C w całej jej średnicy, a powtarzalność wartości temperatury wynosi ±0,2°C pomiędzy kolejnymi próbami. System nadaje się do pracy w pomieszczeniach o czystości klasy 1–100, może pracować 24/7, a jego żywotność przekracza 5 000 godzin przy zmianie temperatury poniżej 5%. Tempo wzrostu temperatury wynosi 10°C/s, co umożliwia skrócenie czasu procesu bez naruszania parametrów termicznych.
Dlaczego to rozwiązanie jest przydatne w procesie TSV
Proces TSV obejmuje litografię, etching, nanoszenie warstwy izolacyjnej, wysadzanie ziaren i pokrywanie powierzchni metalicznie – wszystko to odbywa się przy użyciu fotoopornika. Potrzebny jest więc proces suszenia, który zachodzi zawsze w tym samym zakresie temperatur: delikatne suszenie w celu usunięcia rozpuszczalników, intensywne suszenie w celu utrwalenia masek, a następnie powolne chłodzenie w celu ochrony struktury płytki. Nasz podgrzewacz zapewnia precyzyjne utrzymywanie temperatury na właściwej wartości, zarówno w jednym, jak i w kolejnych partiach produktów. Dzięki temu uzyskuje się lepszą kontrolę nad wymiarami elementów płytki, mniej defektów oraz większą jakość produktu. Użytek energii również spada – temperatura zostaje szybko osiągnięta i utrzymana bez przekroczeń.
Co jest potrzebne do prawidłowego funkcjonowania
Platforma wymaga specjalnego źródła zasilania oraz dopływu czystego gazu. W przypadku starszych urządzeń konieczne jest użycie dodatkowych elementów mechanicznych oraz odpowiedniej wersji oprogramowania. Trzeba też uwzględnić całość systemu – podgrzewacz, uchwyt i osłony – ponieważ ich połączenie zmienia się w zależności od geometrii urządzenia. Należy też przeprowadzić krótkie testy, aby ustalić optymalne parametry procesu, a potem proces będzie działał stabilnie.