Na linha de 300 mm, o processo de empilhamento de TSVs falha quando o perfil térmico muda. Um único grau de variação na temperatura da plaqueta já é suficiente para causar rachaduras nos vias, estragar o fotoresisto e eliminar um mês de trabalho árduo. O aquecedor precisa fornecer calor de maneira consistente – não apenas calor em geral.
O que é importante por trás disso tudo Construímos o aquecedor para TSVs com elementos infravermelhos de onda curta e um conjunto de quartzo-cerâmica, a fim de evitar a geração de partículas. A uniformidade da temperatura na plaqueta fica entre ±0,1°C ao longo de todo o seu diâmetro, e a repetibilidade do ponto de temperatura é de ±0,2°C de uma execução para outra. O sistema funciona em salas limpas de classe 1–100, opera 24/7 e tem capacidade para funcionar por mais de 5.000 horas, com menos de 5% de variação na temperatura. A taxa de aumento da temperatura é de até 10°C/s, permitindo assim reduzir o tempo de ciclo sem superar o limite térmico.
Por que isso é importante no processamento de TSVs O processo de TSV envolve litografia, gravação química, aplicação de revestimentos, sementes e galvanização, com uso de fotoresisto durante todo o processo. É necessário que o aquecimento aconteça sempre dentro da mesma faixa de temperatura: um aquecimento suave para remover solventes, um aquecimento intenso para fixar a máscara, e um resfriamento lento para proteger as estruturas formadas. Nosso aquecedor mantém a plaqueta na curva de aquecimento exata, batch após batch. Isso resulta em melhor controle das dimensões críticas, menos defeitos e maior produtividade. Além disso, o consumo de energia diminui, pois é possível atingir rapidamente o ponto desejado de temperatura, mantendo-o sem exceder os limites.
O que é necessário para funcionamento adequado A plataforma precisa de um cabo de alimentação dedicado e de um suprimento de gás limpo. Instalá-lo em uma ferramenta antiga geralmente requer o uso de um kit mecânico e um firmware compatível. É preciso planejar o orçamento térmico para todo o conjunto – aquecedor, suporte e blindagem –, pois a eficiência térmica muda dependendo da geometria. É necessário realizar um teste rápido para definir os parâmetros corretos, e assim o processo permanecerá estável.