Сокращение выбросов углерода при производстве полупроводников с использованием инфракрасного нагрева
Производство полупроводников во многом зависит от тепла, но текущий способ его получения является довольно неэффективным. Большинство производств используют конвекционные печи, что означает необходимость нагревания огромного объема воздуха лишь для того, чтобы нагреть небольшой кусочек пластины. Это похоже на необходимость нагревания всего дома лишь для того, чтобы разогреть один кусочек пиццы. Это приводит к значительной потере энергии и увеличению углеродного следа производства.
Мы нашли более эффективный способ – использование инфракрасного нагрева. Вместо того чтобы нагревать воздух, мы напрямую нагреваем саму поверхность пластины.
Экономия энергии (и экологии)
Инфракрасные лампы используют электромагнитное излучение для передачи энергии. Поскольку не нужно нагревать тысячи кубических футов воздуха в чистой комнате, требуется гораздо меньше энергии на обработку одной пластины. В «зеленом» производстве это означает значительную экономию. Количество потребляемых киловатт-часов снижается, а соответственно снижаются и выбросы CO2. Это более простой и экологичный способ обработки пластин.
Поддержание чистоты в чистой комнате
Чистые комнаты требуют особого внимания к чистоте. Даже одна пылинка может стать проблемой. Поэтому мы используем нагревательные элементы, заключенные в кварцевые оболочки. Они не выделяют газов и не распространяют частицы, благодаря чему окружающая среда остается чистой.
К тому же эти лампы имеют высокую эффективность при минимальных размерах. Оборудование занимает меньше места, а до достижения нужной температуры происходит гораздо быстрее. Это ускоряет весь процесс.
Проблемы
Но все не так просто. Высокая интенсивность инфракрасного излучения может привести к проблемам. Если пластина тонкая, ее поверхность может перегреться до того, как нагреется само ядро пластины. Необходимо правильно регулировать расстояние лампы от пластины и время ее работы. Небольшая настройка может значительно улучшить качество обработки пластин.
Использование в «зеленом» производстве
Замена ламп – это не все. Необходима система управления, которая будет контролировать параметры в реальном времени. Это поможет избежать превышения заданной температуры и снизить потери энергии.
А еще есть одно преимущество: если подключить такие системы к цифровой сети, можно точно отслеживать количество экономленной энергии за каждую партию продукции. Когда приходят инспекторы для проверки уровня углеродной нейтральности, у вас уже есть точные данные для представления им.