На производственном цеху обработка стеклянных пластин не допускает никаких отклонений из-за термических факторов. Даже незначительное отклонение температуры в 0,5°C уже приводит к изменению толщины фоторезиста. Если же температура не контролируется должным образом, это может привести к распаду структуры пластины. Чтобы сохранять контроль над температурой, единственным решением является использование инфракрасных ламп.
Что важно при установке Мы разработали коротковолновые инфракрасные лампы специально для работы с стеклом. Их спектральный выход настроен таким образом, чтобы соответствовать условиям низкой тепловой массы и быстро реагировать на изменения температуры. На всей площади зоны обработки однородность температуры составляет ±0,1°C, а повторяемость процесса обеспечивается благодаря стабильным значениям Cp/Cpk. Устройство подходит для использования в чистых помещениях класса 1–100; отсутствие частиц подтверждается с помощью контроля за частицами в процессе работы. Выход света остается стабильным в течение более 5,000 часов, а отклонение интенсивности света составляет менее 5%.
Почему это важно для литографии В процессах литографии это означает стабильные параметры обработки стеклянных подложек, более точный контроль параметров формы элементов и снижение количества дефектов. Это также позволяет быстрее достигать нужной температуры, сокращать энергозатраты и уменьшать количество бракованных пластин. Устройство совместимо с стандартными форматами пластин и может быть использовано в существующих установках для нанесения покрытий и обработки пластин. Таким образом, процесс остается стабильным, а термические параметры контролируются.
На что следует обратить внимание при установке При установке важна точная оптическая настройка и эффективная система терморегулирования. Если система охлаждения не сработает должным образом или геометрия отражателя будет некорректной, однородность температуры будет нарушена. Выход света лампы зависит от стабильности линий, поэтому необходимо использовать чистое и стабильное источник питания. На калибровку потребуется некоторое время; после этого процесс будет стабильным, что сократит время простоя и минимизирует необходимость технического обслуживания.