Как сохранить чистоту пластин при их сушке (и повысить производительность)
Когда вы сушите пластины для MEMS-датчиков в чистой комнате класса 100, нельзя допускать никаких неожиданностей. Один маленький кусочек материала или небольшое количество газов, выделяющихся от источника тепла, могут серьезно снизить качество продукции. Это раздражает.
Поэтому мы используем инфракрасные лампы из высокочистого синтетического кварца.
Почему кварц так важен?
Стандартное стекло или дешевые материалы просто не выдерживают высоких температур. При этом они могут выделять металлические примеси. Что еще хуже — они могут треснуть или покрыться пылью при резких изменениях температуры. Никто этого не хочет.
Мы используем высокочистый кварц, потому что он отлично справляется с тепловыми ударами. К тому же, благодаря инфракрасному излучению тепло проникает в влагу на поверхности пластины и мгновенно ее испаряет. Нет необходимости в физическом контакте с пластиной, нет риска появления механических повреждений.
Как избавиться от ненужных компонентов
Чтобы получить необходимую мощность для быстрой сушки, важно правильно подобрать компоненты лампы. Мы используем высококачественный вольфрам и уплотнители, обеспечивающие герметичность. Это позволяет избежать утечки газов. Таким образом, получается концентрированный импульс инфракрасного излучения, который попадает на пластину именно в нужный момент.
Мы очень строги в выборе компонентов. В этих лампах нет дешевых клеев или органических покрытий. Почему? Потому что они разрушаются под действием температуры. А при этом они загрязняют чистую комнату. Каждый компонент — от корпуса из кварца до электродов — выбирается так, чтобы он не выделял примесей. Просто.
Реальные недостатки
Эти лампы очень мощные, поэтому они сильно нагреваются. Не только сама пластина, но и концы лампы также нагреваются.
Необходимо тщательно проверить систему охлаждения. Если поток воздуха слабый, тепло будет накапливаться в местах соединения, что со временем может повредить провода. Это простая проблема, но она крайне важна.
Мы разработали лампы так, чтобы они можно было легко разместить в автоматизированных системах обработки. Они подходят как стандартные инфракрасные лампы, но именно высокая чистота кварца позволяет избежать неудач при проверке датчиков.