Почему производители полупроводников отказываются от традиционных печей в пользу устройств с инфракрасным излучением для высыхания материалов
Честно говоря, те старомодные конвекционные печи представляют собой огромные устройства, потребляющие много энергии. Они работают медленно, занимают много места. В мире, где «зеленая энергия» уже не является просто модным термином, а становится необходимостью, такие печи уже не подходят.
Поэтому все переходят на использование устройств с инфракрасным излучением. Вот в чем разница: вместо того чтобы нагревать всю комнату ради нагрева пластины, инфракрасное излучение попадает прямо на сам материал. Это эффективно и экономично – не тратится много энергии на нагрев пустого пространства внутри печи.
Физика процесса (проще говоря)
Воздух плохо передает тепло. Инфракрасные лампы, напротив, излучают электромагнитные волны, которые проникают прямо в слои фоторезиста или клея. Это быстро. Очень быстро. Благодаря прямому передаче энергии время нагрева значительно сокращается. Пластины обрабатываются быстрее, а расход электроэнергии снижается. К тому же, поскольку не используются процессы горения или странные химикаты для получения тепла, нет необходимости беспокоиться о загрязнителях в виде свинца или летучих органических веществ. Это чистый и безопасный процесс.
Как правильно использовать такие устройства
Нельзя просто использовать любую лампу для нагрева. Чтобы добиться точности при обработке пластин, используются лампы с коротковолновым или средневолновым излучением. Они выделяют много тепла на небольшой площади. Ещё одним преимуществом является возможность контроля температурного поля на поверхности пластины, что помогает избежать образования „горячих точек“.
Но есть один недостаток: такие лампы становятся очень горячими. Если система охлаждения не справляется со своей задачей, это может повредить окружающую электронику. Если поток воздуха слабый, корпус лампы перегревается, и нити в ней сгорают раньше времени. Необходимо правильно организовать систему охлаждения, иначе возникнут новые проблемы.
Что это значит на практике
Для тех, кто работает на производстве, самым большим преимуществом является возможность мгновенного запуска процесса. Забудьте о долгих циклах предварительного нагрева с использованием конвекционных печей. Достаточно просто включить устройство – и всё готово. Это очень полезно при смене смен или когда нужно обработать всего несколько партий продукции.
Для инженеров это означает повышение производительности и больше свободного пространства в чистой комнате. Можно достичь всех необходимых экологических стандартов, не снижая при этом качество продукции. Это идеальное решение.