Isınığınızı boşa harcamayı bırakın
Eğer waferleri kurutmak veya pişirmek için temiz oda fırını kullanıyorsanız, enerjinin boşa gittiği durumların ne kadar sinir bozucu olduğunu biliyorsunuzdur. Çoğu standart yansıtıcı oldukça verimsizdir; çok fazla ısıyı fırının duvarlarına aktarır. Bu da aslında sadece odayı ısıtmak için elektrik parası ödemek anlamına gelir.
Bunu, altın kaplamalı yansıtıcılar kullanarak çözdük. Neden altın? Çünkü uzun dalga boyundaki kızılötesi radyasyonu doğru yere geri yansıtmada mükemmeldir. Böylece enerji, fırın gövdesini ısıtmak yerine doğrudan waferlere ulaşır.
Isının gerekli yerlere gitmesi
Asıl mesele, gücü artırmak veya sistemye daha fazla enerji eklemek değil; mevcut enerjiyi daha akıllıca kullanmaktır. Yüksek verimli bir kızılötesi kaynağı, altın kaplamalı parabolik veya eliptik yansıtıcılarla bir araya getirerek, fotonların saçılmasını engelleyebiliriz. Böylece daha yoğun bir ısı alanı elde edilir ve ısınma süresi de çok daha hızlı olur.
Temiz odadaki zorluklar
Temiz bir odada herhangi bir malzeme kullanamazsınız. Ucuz alüminyum veya parlak çelikler zamanla ayrışabilir veya gaz salabilir; bu da üretim veriminizi olumsuz etkiler. Altın ise oksitlenmez.
Bu kaplamayı vakum ile uygularız; böylece sıcaklık sürekli değişse bile kaplama yerinde kalır. Ancak dikkat: Yüzeyin temiz tutulması şarttır. Altın yüzeyindeki en küçük toz parçası bile verimliliğinizi düşürür. Eğer ayna kirlenirse, ısı dağılımı bozulur ve waferlerde soğuk noktalar oluşur.
Tercihler ve dezavantajlar
Bu düzenleme oldukça yüksek bir ısı yoğunluğu oluşturur. İşlem sürenizi önemli ölçüde azaltır; ancak PID kontrol cihazları üzerinde büyük bir baskı yaratır. Hızlı tepki veren sensörler kullanmanız gerekiyor; aksi takdirde hedef sıcaklığa ulaşmadan önce aşırı ısınma meydana gelebilir.
Ayrıca soğutma fanlarını da unutmayın. Eğer bunlar fırının kenarlarındaki ısıya dayanacak şekilde tasarlanmamışsa, fırın gövdesi bozulabilir. Ayrıca kablolar için yüksek sıcaklığa dayanıklı kablolar kullanın. En son isteyeceğiniz şey, odak noktasında yalıtım malzemelerinin erimesidir.