Üretim katında, fotoresist pişirme sırasında 0,3°C’lik bir sapma, birçok parçanın hurdaya dönmesine yol açabilir. Halihazırda CD uniformitesi, resist profili ve partikül sayımı ile uğraşıyorsunuz ve termal değişkenlik verim ve çalışma süresini azaltmaya devam ediyor. Bu sapmayı kaynağında kesmek için yarı iletken lazer diyot ısıtıcısını geliştirdik.
Teknik olarak önemli olan Birim, lazer diyot kaynağını özel bir termal yığın ile birleştirerek pişirme yüzeyinde ±0,1°C wafer düzeyi uniformiteyi sağlar. Tepki süresi 300 ms’nin altındadır, böylece kapı açma/kapatma işlemlerinden sonra sıcaklık hızlıca stabilize olur ve çalışma tekrarlanabilirliği ±0,05°C içinde korunur. Isıtıcı gövdesi kuvars ve yüksek saflıkta seramiktir, bağlayıcıdan dışgazlaşma olmaz ve Class 1–100 ortamlarında temiz çalışır; partikül oluşumu 0,1 partikül/cm²’nin altındadır. Kapalı devre kontrol, kalibreli sensörün birden çok bölgeye haritalanması ile sağlanır; böylece kenar etkileri için reçeteye bağlı kompansasyon uygulanabilir.
Litografide neden tercih edildiği buna bağlıdır. Soft bake ve hard bake işlemleri resistin viskozitesini, adhesiyonunu ve kritik boyutunu belirler. Termal bütçe sabit kaldığında, daha sıkı CD dağılımı, daha az yeniden işleme ve köprülenen detaylar ya da footing nedeniyle daha az hurda elde edilir.
Aynı stabilite plansız duruşları azaltır—pişirme plakası hataları ortadan kalkar, plakanın stabilize olmasını beklemek gerekmez. Enerji kullanımı da düşer; çünkü hızlı stabilize olma ve sıkı sıcaklık kontrolü aşırı ısınmayı ve boşa güç harcayan bekleme ısısını ortadan kaldırır.
Kontrollü ısıtmanın kritik olduğu die attach hazırlık işlemi yapan paketleme hatlarında tekrarlanabilirlik doğrudan devam eder. Daha az boşluk ve daha yüksek ilk geçiş tutunması gözlemlenir.
Uygulamaya alırken birkaç pratik not: Isıtıcı standart ekipman arayüzleri ile çalışır, ancak termal harita plaka geometriniz ve sensör konumlarına göre montaj sırasında hizalanmalıdır. Bölge kaymaları ve reçete limitlerini belirlemek için kısa bir devreye alma süreci beklenmelidir.
Optikler, çıkışın stabil kalması için temiz, kuru hava veya azot ile süpürülmelidir. Pencere sarf malzemesi olarak kabul edilmeli ve bakım programına pişirme değişim aralıkları eklenmelidir.