
Зменшення викидів вуглецю під час виробництва напівпровідників за допомогою інфрачервоного нагрівання
Виробництво напівпровідників потребує використання тепла, але спосіб, яким ми це робимо, є досить неефективним. Більшість заводів використовують конвекційні печі – це означає нагрівання великої кількості повітря лише для того, щоб нагріти одну маленьку пластину. Це схоже на нагрівання всього будинку лише для того, щоб розігріти один шматочок піци. Це призводить до значних витрат енергії та збільшення викидів вуглецю.
Ми знайшли кращий спосіб – інфрачервоне нагрівання. Замість того, щоб нагрівати повітря, ми нагріваємо саму поверхню пластини.
Економія енергії (та захист планети)
Лампи інфрачервоного випромінювання використовують електромагнітне випромінювання для передачі енергії. Оскільки не потрібно нагрівати тисячі кубічних футів повітря в чистій кімнаті, витрачається значно менше енергії на одну пластину. У „зеленому“ заводі це є великою перевагою – зменшуються витрати на електроенергію, а разом з ними та викиди CO2. Це простіший та ефективніший спосіб обробки матеріалів.
Підтримка чистоти в чистій кімнаті
Чисті кімнати вимагають особливої уваги до чистоти. Один лише частинок пилу може створити проблеми. Саме тому ми використовуємо нагрівальні елементи, закриті кварцом. Вони не виділяють газів та частинок, тож середовище залишається чистим.
Крім того, ці лампи мають високу ефективність у компактному форматі. Обладнання займає менше місця, а до потрібної температури доходить швидше. Це прискорює весь процес виробництва.
Проблеми під час використання
Але все не так просто. Високоінтенсивне інфрачервоне випромінювання може призвести до надмірного нагрівання. Якщо пластина тонка, її поверхня може перегрітися ще до того, як нагріється сам шар матеріалу.
Необхідно ретельно контролювати відстань до лампи та час її роботи. Невелика калібрування допоможе уникнути пошкодження поверхні пластини.
Ефективне використання в „зеленому“ заводі
Заміна ламп – це не все. Потрібна система керування, яка буде враховувати дані з датчиків у реальному часі. Це допоможе уникнути перегріву та марної втрати енергії.
І ще краще те, що коли такі системи підключаються до „розумної“ мережі, можна точно визначити, скільки енергії економиться з кожною партією продукції. Коли приходять інспектори для перевірки рівня викидів вуглецю, у вас є конкретні дані для пред’явлення їм.