На виробничій лінії все здійснюється за певними правилами. Навіть незначна зміна температури при випалюванні на рівні 0,5°C може призвести до зміни критичних розмірів на рівні нанометрів, що означає втрату великої кількості продукції. Тож необхідно, щоб температура залишалась стабільною з циклу в цикл, навіть при наявності потоку повітря в чистій кімнаті, певної геометрії пластин та строгих таймінгів літографічного процесу.
Що є важливим у цій системі
Ми створили систему на основі джерел ближнього інфрачервоного світла з точково контрольованим спектральним випромінюванням. Це дозволяє досягти швидкого та безконтактного нагрівання. Рівномірність температури по всій поверхні пластини становить ±0,1°C, а точність дотримання заданої температури також є високою. Система підходить для чистих кімнат класів 1–100, а зона нагрівання забезпечує мінімум утворення частинок. Процеси м’якого та жорсткого випалювання відбуваються при строгому контролі температури, що забезпечує стабільність розмірів продукції та зменшує кількість дефектів.
Чому це важливо для літографії
У літографічних лініях інфрачервоне випромінювання дозволяє швидко підвищувати температуру та зменшувати теплову інерцію. Це скорочує час на переход між різними процесами та підтримує стабільну продуктивність. Система працює 24/7 без перешкод, а енергоспоживання зменшується завдяки ефективному керуванню тепловими процесами та мінімальним втратам під час очікування. Це забезпечує стабільний контроль критичних розмірів, зменшення кількості продукції, яку потрібно переробляти, та прогнозовану продуктивність – без змін у існуючих процедурах виробництва.
Що потрібно врахувати під час планування
Під час встановлення необхідно узгодити систему відведення повітря, постачання газу та інші комунікації з виробничою лінією. Ми надаємо креслення для підключення та допомагаємо з налаштуванням системи. Оскільки інфрачервоне випромінювання діє безпосередньо, різниця в емісії матеріалів може вплинути на місцеву температуру. Контролер компенсує цей ефект, але все одно необхідно налаштувати параметри для нових матеріалів. Після одного тестування можна використовувати систему, яка вже відповідає стандартам.