فیبرکی فلور پر، شیشے کے ویفروں کی پروسیسنگ میں تھرمل ڈرفٹ کی کوئی گنجائش نہیں ہے۔ اگر سافٹ بیک کے دوران درجہ حرارت 0.5°C تک بھی غلط ہو جائے، تو پھر فوٹوریزسٹ کی موٹائی میں تغیرات پیدا ہو جاتے ہیں۔ ہارڈ بیک کے دوران بھی اگر درجہ حرارت مناسب طریقے سے کنٹرول نہ کیا جائے، تو پیٹرن میں خرابیاں پیدا ہو جاتی ہیں۔ تھرمل بجٹ کو کنٹرول کرنے کے لئے، انفراریڈ لیمپ سسٹم ہی واحد راستہ ہے۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہم نے شیشے کی پروسیسنگ کے لئے خصوصی طور پر شارٹ-ویو انفراریڈ لیمپ بنائے ہیں؛ ان کی اسپیکٹرل آؤٹ پٹ ایسی ہے کہ یہ کم تھرمل ماس کو جذب کرتے ہیں، اور درجہ حرارت کو تیزی سے کنٹرول کرتے ہیں۔ بیکنگ زون میں ویفروں کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، اور مسلسل استعمال کے دوران بھی Cp/Cpk کی قیمتیں مستحکم رہتی ہیں۔ اس سسٹم کو کلاس 1-100 کے کلین رومز میں استعمال کیا جا سکتا ہے، اور ان-سیٹو پارٹیکل مانیٹرنگ کے ذریعے یہ یقینی بنایا جاتا ہے کہ کوئی ذرہ پیدا نہ ہو۔ آؤٹ پٹ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ عرصے تک مستحکم رہتا ہے، اور انٹینسٹی میں 5% سے کم تغیر ہوتا ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کا کیا کردار ہے؟
لیتھوگرافی لائنوں میں، اس کا مطلب یہ ہے کہ شیشے کی سطح پر سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے عمل میں یکسانیت رہتی ہے، CD کنٹرول بہتر ہوتا ہے، اور نقائص کی تعداد کم ہوتی ہے۔ اس سے سیٹپوائن تک پہنچنے میں وقت کم لگتا ہے، ہر بیچ میں استعمال ہونے والی توانائی کم ہوتی ہے، اور ضائع ہونے والے ویفروں کی تعداد بھی کم ہوتی ہے۔ یہ سسٹم معیاری ویفر فارمیٹس کو سپورٹ کرتا ہے، اور موجودہ ٹریکس اور کوٹ/بیک ماڈیولز میں بھی استعمال کیا جا سکتا ہے؛ اس طرح پروسیس فلو برقرار رہتا ہے، جبکہ تھرمل کارکردگی بہتر ہوتی ہے۔
انسٹالیشن کے دوران کن چیزوں پر توجہ دینی چاہیے؟
انسٹالیشن کے دوران درست آپٹیکل الائنمنٹ اور مناسب تھرمل مینجمنٹ سسٹم بہت اہم ہے۔ اگر کولنگ سسٹم مناسب نہ ہو یا ریفلیکٹر کی ساخت درست نہ ہو، تو یکسانیت خراب ہو جاتی ہے۔ لیمپ کی آؤٹ پٹ لائن کی استحکام پر منحصر ہے، اس لئے صاف اور منظم سپلائی سسٹم ضروری ہے۔ کیلیبریشن کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے؛ اس کے بعد سسٹم مستقل طور پر کام کرتا رہتا ہے، جس سے بندش کا وقت کم ہوتا ہے، اور مرمت کی ضرورت بھی کم ہوتی ہے۔