
Trong môi trường sản xuất, hiện tượng dịch chuyển nhiệt độ không phải là vấn đề mang tính lý thuyết. Đó là nguyên nhân gây ra sai số trong quy trình sản xuất. Chỉ cần sự thay đổi nhiệt độ khoảng nửa độ C cũng có thể ảnh hưởng đến các kích thước quan trọng của sản phẩm, khiến hàm lượng chất lỏng còn sót lại vượt quá mức cho phép. Chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại để kiểm soát nhiệt độ – nhờ đó quy trình sản xuất sẽ diễn ra ổn định, mà không cần lo lắng về sự thay đổi nhiệt độ từ các thiết bị sưởi.
Về mặt kỹ thuật, điều quan trọng là khả năng kiểm soát nhiệt độ. Các bóng đèn này được chế tạo từ các nguyên lý hoạt động dựa trên ánh sáng halogen, được đặt trong vỏ thủy tinh, và được điều chỉnh để phát ra ánh sáng sóng ngắn và sóng trung bình, phù hợp với khả năng hấp thụ năng lượng của các chất được sử dụng trong quy trình sản xuất. Nhờ đó, mức độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer có thể được duy trì ở mức ±0,1°C; đồng thời, không có sự xuất hiện của các hạt bụi, giúp môi trường sản xuất luôn ở mức độ sạch từ Class 1–100. Tốc độ phản ứng của bóng đèn cũng rất nhanh, phù hợp cho các quy trình nướng ở tốc độ cao; độ ổn định của ánh sáng cũng được duy trì trong hàng nghìn chu kỳ sử dụng.
Tại sao phương pháp này lại hiệu quả trong thực tế? Bởi vì nó được sử dụng ở những nơi mà nhiệt độ cần được kiểm soát chính xác và ổn định: việc sấy khô wafer sau khi vệ sinh, quy trình nướng chất phản ứng trong quy trình in ấn, quá trình đông cứng chất kết dính trong quy trình đóng gói, và việc sấy khô cuối cùng sau khi vệ sinh wafer. Việc kiểm soát chặt chẽ các kích thước quan trọng giúp giảm tỷ lệ lỗi sản phẩm; đồng thời, việc kiểm soát nhiệt độ từ nguồn gốc giúp tránh sự thay đổi nhiệt độ. Hiệu suất sản xuất cũng được cải thiện nhờ việc sử dụng ánh sáng hồng ngoại – giúp rút ngắn thời gian xử lý, đồng thời kéo dài tuổi thọ của bóng đèn, với thời gian hoạt động lên đến 5.000 giờ mà hiệu suất vẫn ổn định.
Việc lắp đặt bóng đèn khá đơn giản, nhưng việc đảm bảo độ chính xác trong việc căn chỉnh và lắp đặt lại rất quan trọng. Cần phải đảm bảo rằng hình dạng của bộ phản chiếu ánh sáng phù hợp với khu vực cần sưởi; kiểm tra xem điện áp và cổng kết nối có tương thích với thiết bị hay không. Ngoài ra, cần phải đảm bảo rằng các vật liệu xung quanh được bảo vệ khỏi tác động của nhiệt độ. Cần phải tiến hành hiệu chuẩn định kỳ để đảm bảo rằng các thông số nhiệt độ vẫn ở mức cho phép, ngay cả khi sản xuất nhiều lô hàng liên tục.