Trên sàn sản xuất, biến thiên nhiệt 0,3°C trong quá trình nung photoresist đủ để biến hàng loạt sản phẩm thành phế phẩm. Bạn đã phải kiểm soát độ đồng đều CD, hình dạng resist và lượng hạt, trong khi biến động nhiệt vẫn liên tục ảnh hưởng tới năng suất và thời gian hoạt động. Chúng tôi thiết kế bộ gia nhiệt diode laser bán dẫn để loại bỏ biến thiên này ngay từ nguồn.
Điểm quan trọng về mặt kỹ thuật
Thiết bị kết hợp nguồn laser diode với cấu trúc nhiệt học được thiết kế riêng nhằm đạt độ đồng đều ở mức wafer ±0,1°C trên bề mặt nung. Thời gian đáp ứng dưới 300 ms, giúp ổn định nhiệt độ nhanh chóng sau các sự kiện mở/đóng cửa, và khả năng tái lập liên tục giữa các lần chạy nằm trong ±0,05°C. Thân máy làm từ thạch anh và gốm tinh khiết cao, không phát thải khí từ chất kết dính, vận hành sạch trong môi trường Class 1–100, giữ lượng hạt phát sinh dưới 0,1 hạt/cm². Hệ thống khép kín, trang bị cảm biến hiệu chuẩn phân bố theo nhiều vùng, cho phép bù trừ theo công thức nhằm kiểm soát hiệu ứng cạnh.
Đây là lý do thiết bị duy trì độ ổn định trong quy trình lithography. Giai đoạn soft bake và hard bake thiết lập độ nhớt resist, khả năng bám dính và kích thước quan trọng CD. Khi nguồn nhiệt được duy trì ổn định, bạn đạt được phân bố CD chặt chẽ hơn, giảm số lần xử lý lại và hạn chế phế phẩm do các đặc điểm dính nhau hoặc chân nối.
Độ ổn định này cũng giảm các lần dừng máy không dự kiến—không còn lỗi đĩa nung, không còn chờ đợi đĩa ổn định nhiệt. Tiêu thụ năng lượng cũng giảm do khả năng ổn định nhanh và điều chỉnh chặt chẽ loại bỏ hiện tượng quá nhiệt và nhiệt thừa khi không tải gây lãng phí điện năng.
Nếu bạn vận hành dây chuyền đóng gói cần kiểm soát nhiệt cho công đoạn chuẩn bị đính chip, khả năng tái lập cũng được duy trì liên tục. Số lượng khiếm khuyết bọt khí giảm, tỷ lệ đính chip đạt ngay lần đầu cao hơn.
Một số lưu ý thực tế trước khi bạn lựa chọn thiết bị này. Bộ gia nhiệt tương thích với giao diện tiêu chuẩn của máy, nhưng bản đồ nhiệt cần được căn chỉnh với hình dạng đĩa và vị trí cảm biến trong quá trình lắp đặt. Dự kiến cần một chu trình chạy thử ngắn để xác định sai số vùng và giới hạn công thức.
Bộ phận quang học cần được thổi khí sạch, khô hoặc khí nitơ để giữ ổn định đầu ra. Kính cửa cần được coi là vật tiêu hao, và thời gian thay thế kính cần được lên kế hoạch trong lịch bảo trì định kỳ.