别再浪费热量了
如果你使用洁净室烤箱来对晶圆进行固化或烘烤处理，那么你一定知道那种能量白白流失的糟糕体验。大多数普通反射器都存在严重的热泄漏问题，它们会让大量热量散失到烤箱壁中，这简直就是白白浪费电能。
我们通过使用镀金反射器来解决这个问题。为什么要用黄金呢？因为黄金能够非常好地反射长波红外线，让热量直接作用于晶圆上，而不是让烤箱的框架被加热。
让热量精准地传递到需要的地方
其实，关键不在于增加功率或为系统提供更多能量，而在于更聪明地利用现有的能量。通过将高输出的红外线源与镀金抛物面或椭圆形反射器结合使用，我们可以防止光子散射。这样一来，热量就能更集中地作用于晶圆上，从而加快升温速度。
洁净室环境下的特殊要求
在洁净室里，不能使用普通的材料。廉价的铝或抛光钢容易出现剥落或释放气体的情况，这会严重影响加工效率。而黄金则不会氧化。我们通过真空沉积的方式将镀层固定在表面上，这样即使在温度不断变化的情况下，镀层也能保持稳定。
不过需要注意的是：必须保持表面的清洁。哪怕有极少量的灰尘或有机残留物，也会降低效率。如果反射镜变脏，热量分布就会变得不均匀，导致晶圆上出现冷点。
替代方案
这种设计虽然能产生很高的热量密度，从而大大缩短处理时间，但也会给PID控制器带来很大压力。因此，你需要使用响应速度快的传感器，否则很容易超过目标温度。另外，还要注意冷却风扇的性能——如果它们无法承受烤箱边缘反射来的热量，那么烤箱的外壳就可能会变形。最后，记得使用耐高温的导线，因为绝不能让绝缘材料在焦点附近熔化。