Role
你在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不是可选项——它是你的热预算。温度波动1°C就能改变关键尺寸（CD），疲劳的反射镜产生的颗粒能废掉一片晶圆。固化灯中的反射镜是热控和污染防护的第一道防线。
技术上关键的是一个数字：软烤和硬烤过程中晶圆上的温度均匀性需保持在±0.1°C。我们围绕这个目标设计反射镜，通过调节几何形状，实现可重复的等温区，保证线宽控制不会批次间漂移。
材料符合洁净室要求，表面处理降低放气和颗粒产生。无剥落，无迁移。且能在灯管寿命周期内保持光谱效率稳定，确保设定点精准，热轮廓稳定。
在光刻中，你需要每次都能依赖的烘烤性能。该反射镜保持能量分布一致，确保第300片晶圆上的光刻胶流动和溶剂去除与第一片无异。结果是返工减少，CD分布更紧凑，产量稳定。
它适用于Class 1–100洁净室操作，颗粒控制与环境匹配。系统无需追踪漂移，从而提升运行时间。
安装关键在于对准——对准灯轴和基板平面。偏差会破坏均匀性并导致热点局部过热。集成前，确认灯型和反射镜安装接口匹配。
启动后需短暂烧机以稳定热场，然后重新确认烘烤曲线。反射镜作为与工艺控制相关的耗材，应基于测得均匀性和颗粒趋势更换，而非按日历周期。