চেম্বারের দেয়ালগুলোকে উত্তপ্ত করা বন্ধ করুন।
যদি আপনি কখনও সেমিকন্ডাক্টর চেম্বারে স্ট্যান্ডার্ড কনভেকশন বা অমনিডাইরেকশনাল হিটিং ব্যবহার করে কাজ করে থাকেন, তাহলে আপনি এর ঝামেলাগুলো জানেন। আপনি ওয়েফারটিকে উত্তপ্ত করার চেষ্টা করছেন; কিন্তু ফলে ওয়েফার ছাড়া সবকিছুই উত্তপ্ত হয়ে যায়।
চেম্বারের অভ্যন্তরীণ দেয়ালগুলো অত্যন্ত উত্তপ্ত হয়ে যায়; যন্ত্রপাতিগুলোও ক্ষতিগ্রস্ত হয়। এটা শক্তির অপচয়, আর সংশ্লিষ্ট সবার জন্যই এটা একটি বড় সমস্যা।
আমরা এটা ভিন্নভাবে সামলাই। আমরা ডাইরেকশনাল ইনফ্রারেড (IR) ল্যাম্প ব্যবহার করি; এগুলো শক্তিকে ঠিক সেখানেই পাঠায়—অর্থাৎ ওয়েফারের উপরেই।
এটা কীভাবে কাজ করে?
রেজিস্টিভ হিটারের কথা ভাবুন। এটা ৩৬০ ডিগ্রিতে উষ্ণতা ছড়িয়ে দেয়। এটা খুবই জটিল।
আমাদের IR ল্যাম্পগুলো রিফ্লেক্টর ও নির্দিষ্ট তরঙ্গদৈর্ঘ্য ব্যবহার করে শক্তিকে সঠিক দিকে পাঠায়। ফলে চারপাশের যন্ত্রপাতিগুলো উষ্ণতা শোষণ করে না। ওয়েফারটি ঠিক নির্ধারিত তাপমাত্রায় পৌঁছায়; আর মেশিনের বাকি অংশগুলো ঠান্ডা থাকে।
ঝুঁকিগুলো ও তা কীভাবে মোকাবিলা করা যায়?
এই উচ্চ-ওয়াটেজের ল্যাম্পগুলো খুবই শক্তিশালী। কিন্তু এর জন্য আপনাকে কুলিং সিস্টেমগুলোকে ঠিকভাবে ব্যবহার করতে হবে। যদি আপনার অ্যালাইনমেন্ট ঠিক না থাকে বা রিফ্লেক্টরটি নোংরা হয়ে যায়, তাহলে আবার উষ্ণতা দেয়ালগুলোতে চলে যাবে। সঠিক ফোকাল লেন্থ ব্যবহার করলেই সমস্যা সমাধান হয়।
এর ফলে আপনার কী লাভ হবে?
প্রথমত, আপনার চিলারগুলো কম কাজ করবে। দ্বিতীয়ত, ওয়েফারের উপর তাপমাত্রা আরও নিয়ন্ত্রণযোগ্য হবে; ফলে প্রক্রিয়াটি আরও সুষ্ঠু হবে। আর রক্ষণাবেক্ষণও অনেক সহজ হবে। কোনো সমস্যা দেখা দিলে আপনাকে আর অভ্যন্তরীণ দেয়ালগুলোতে উষ্ণতা ঢোকার সমস্যা মোকাবিলা করতে হবে না।
ওয়্যারিং সংক্রান্ত কিছু পরামর্শ:
নিশ্চিত হোন যে আপনার পাওয়ার সাপ্লাই এই ল্যাম্পগুলোর চাহিদা মেটাতে পারবে। এই ল্যাম্পগুলো দ্রুতই পূর্ণ ক্ষমতায় কাজ করে। এগুলো পুরানো সিরামিক উপাদানগুলোর মতো ধীরে ধীরে উষ্ণ হয় না।
এটা একটি ভারসাম্য বজায় রাখার ব্যাপার। আপনি দ্রুত ফলাফল পাবেন; কিন্তু লক্ষ্যমাত্রা অতিক্রম না হওয়ার জন্য PID কন্ট্রোলারগুলোকে ঠিকভাবে সেট করতে হবে।